四川
據中國政府采購網公示，上海微電子裝備（集團）股份有限公司中標步進掃描式光刻機項目，成交金額1.1億元，招標方為科學技術部。據悉，上海微電子已于今年5月官宣實現90nm ArF光刻機量產。
有分析稱，上海微電子中標光刻機，半導體設備領域有望率先受益。步進掃描式光刻機作為芯片制造的關鍵設備，其商業化落地或將進一步推動半導體設備環節的國產化進程。國產AI芯片產業也將迎來發展契機，若未來光刻機技術進一步突破，可為國產AI芯片制造提供更先進的設備支撐，助力提升成熟制程及高端芯片的自主可控能力。
中證半導體材料設備主題指數聚焦半導體材料與設備領域，其中半導體設備占比約62%，有望在國產化產業趨勢下展現較好彈性；上證科創板人工智能指數聚焦科創板AI產業鏈企業，芯片相關權重占比在同類指數中排名第一，且第一大權重股為典型的國產AI算力標的。
半導體設備ETF易方達（159558）、科創人工智能ETF（588730）分別跟蹤以上指數，助力投資者把握芯片自主可控投資機遇。
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