當前,數字經濟席卷全球,半導體產業站上時代潮頭,吸引著相關行業競逐這條“黃金賽道”。從人工智能的算力爆發到萬物互聯的智能終端,從新能源汽車的“大腦”到高端裝備的“心臟”,芯片已成為驅動現代文明進步的“工業糧食”。據相關數據顯示,預計2025年至2030年間,全球半導體市場將以8.5%的年復合增長率穩步擴張。至2030年,市場規模有望突破11112億美元,持續引領全球高科技產業的結構性增長。
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然而,這條黃金賽道上也有著不容呼吸的危險隱患——電子特氣。
電子特氣貫穿于芯片制造的光刻、刻蝕、薄膜沉積、摻雜、清洗等核心工藝環節,其純度與穩定性直接決定著芯片的性能與良率。但這些電子特氣往往具有易燃易爆、有毒有害等危險特性,如氫氣、氨氣、磷化氫、砷化氫、磷化氫、硅烷、溴、氟、氰化氫、氟化氫等,一旦在生產、存儲、輸送或使用環節發生泄漏,將會引發火災、爆炸等嚴重后果。
對于電子特氣的安全監管,構建一道精準、可靠、全天候的可燃有毒氣體監測防線,已不再是簡單的合規要求,而是半導體產業穩健發展的生命線。
這道防線必須精準部署于風險的源頭與關鍵通道。包括氣體供應與存儲區:特氣柜、氣瓶架、大宗氣體儲罐周圍;工藝設備點:圍繞刻蝕機、擴散爐、CVD(化學氣相沉積)設備等用氣設備的接口與腔體附近;氣體輸送管路:特殊氣體供應管路、閥門組區域;人員作業場所:潔凈室、設備維護區、分析實驗室等人員活動密集場所;廢氣處理裝置前:在尾氣通往處理系統的管線上,監測未經處理的危險氣體濃度。
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漢威科技針對半導體行業推出的氣體安全檢測解決方案,搭載如GD-HS10半導體工廠氣體檢測儀等高靈敏度、高可靠性設備,支持對上百種危險氣體的實時監測與早期預警,通過智能化平臺實現“早發現、早預警、早處置”,為潔凈室與生產線提供持續安全保障。
漢威GD-HS10半導體工廠氣體檢測儀專門用于檢測半導體工廠中可燃、有毒、有害氣體,具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點,支持半導體行業全氣體的檢測。LCD點陣屏大屏顯示,可顯示任意字符,支持中英文切換,人機界面友好;背板式掛壁安裝,方便安裝與接線;電磁泵吸原理,相對電機式機械磨損小,泵壽命長;主機平臺可更換傳感器模組,可擴展多達百種氣體。
展望未來,半導體的發展璀璨可期,而其穩健前行必以安全為基石。唯有通過智能化監測與數字化管控,以科技筑牢防線,才能為這條創新之路鋪就堅實根基,真正實現可持續的智慧發展。
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