光刻機(jī)巨頭開始慌了，中國(guó)造不成光刻機(jī)，但是要造一個(gè)光刻工廠！

這幾年ASML日子越來(lái)越不好過了。2023年初，美國(guó)一輪接一輪推出口管制，荷蘭政府跟著收緊對(duì)華銷售政策，ASML前老板彼得·溫寧克在財(cái)報(bào)會(huì)上就直說(shuō)，這種管制反而會(huì)逼著中國(guó)自己搞出東西來(lái)。

這兩年ASML的日子，說(shuō)好也好，說(shuō)糟也糟。

外面看著風(fēng)光，賬面數(shù)據(jù)亮得刺眼，仿佛中國(guó)市場(chǎng)變成了他們的第二臺(tái)“印鈔機(jī)”。

可這份成績(jī)單再亮麗，也擋不住現(xiàn)實(shí)。

美國(guó)從2019年就開始把脖子卡得越來(lái)越緊，目標(biāo)直指先進(jìn)光刻設(shè)備，后來(lái)干脆把荷蘭拖進(jìn)陣線，一層層加碼限制。

按常理講，ASML應(yīng)該在中國(guó)的業(yè)務(wù)大幅縮水，可事實(shí)卻反著來(lái)。

2023年中國(guó)給它貢獻(xiàn)了近一半的營(yíng)收，占比從15%狂飆到46%，到了2024年甚至依舊維持高位。

從外面看像是買瘋了，可背后的邏輯很簡(jiǎn)單：買得越狠，說(shuō)明窗口越快關(guān)。

中國(guó)這邊心里門兒清，只要限制沒完全落地，能買一點(diǎn)是一點(diǎn)，特別是DUV浸潤(rùn)式光刻機(jī)，那可是能頂住我們整個(gè)成熟工藝帶的東西。

先進(jìn)制程雖然短期摸不到，但成熟制程如今才是汽車、光伏、電力設(shè)備、機(jī)器人這些行業(yè)的主力芯片。

能囤一臺(tái)，是一臺(tái)；能付錢，就下手。

這種“趁封鎖徹底落下前猛搶”的態(tài)勢(shì)，把ASML推到了虛高的繁榮里。

但ASML高層一點(diǎn)都不輕松，前CEO溫寧克在任上就說(shuō)過，政治力量伸得太長(zhǎng)，會(huì)逼中國(guó)這位大客戶自己造競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。

新CEO富凱上臺(tái)后面對(duì)的局面更尷尬，數(shù)據(jù)好到嚇人，但他清楚這都是“透支未來(lái)”的業(yè)務(wù)。

因?yàn)殡S著美國(guó)不斷升級(jí)限制，荷蘭政府從2023年起把NXT：2000i以上的型號(hào)劃入許可證范圍，2024年又把2050i、2100i這些主力型號(hào)禁了。

到了2025年，本來(lái)以為能幸存的1970i、1980i也要被嚴(yán)查。

ASML內(nèi)部預(yù)測(cè)中國(guó)業(yè)務(wù)會(huì)迅速掉回20%，甚至有可能再往下探。

更麻煩的是“服務(wù)和維修”這一條命脈，中國(guó)已經(jīng)裝機(jī)幾千臺(tái)，一旦服務(wù)也受限，那這些幾千萬(wàn)一臺(tái)的設(shè)備未來(lái)連換個(gè)密封件都成問題，那不僅是買不到新機(jī)的問題，而是徹底被趕出一個(gè)國(guó)家的供應(yīng)鏈。

ASML當(dāng)然不愿意走到那一步，但美方壓力又逼他們得時(shí)刻劃紅線，這也是他們現(xiàn)在最怕觸碰的雷。

這么看，ASML的繁榮不是興旺，是透支。不是成長(zhǎng)，是倒計(jì)時(shí)。

短期賬面漂亮，但長(zhǎng)期的危險(xiǎn)正在往它腳下堆。

越是賣得多，越說(shuō)明在替別人補(bǔ)缺口，越是限制多，越讓中國(guó)堅(jiān)定“自己干”的決心。

既然買的路遲早被堵死，中國(guó)工程師們自然不會(huì)傻站著等裁決。

EUV光刻機(jī)沒法買，逆向又像拆核潛艇一樣復(fù)雜，那怎么辦？

方法不是沒有，把難點(diǎn)換個(gè)角度思考，反而走出了條別人沒想過的路子。

ASML的核心護(hù)城河不是整機(jī)本身，而是EUV光源。

一個(gè)小小機(jī)箱里塞進(jìn)幾十千瓦的等離子體光源，那是三十多年技術(shù)積累的結(jié)果，全世界只有ASML、蔡司、一批頂級(jí)材料公司拼起來(lái)才做得到。

想要靠國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈短時(shí)間復(fù)制這種“小型化光源”，那難度堪比登天。

于是我們的工程師干脆繞過去，你小型化難，那我就不小型化。我不在一臺(tái)機(jī)器里塞光源，我給你建一座“光源工廠”。

這就是清華主導(dǎo)的SSMB（穩(wěn)態(tài)微聚束）路線：把EUV光源做成像發(fā)電站一樣的大型基礎(chǔ)設(shè)施，用一條長(zhǎng)達(dá)一公里的粒子加速環(huán)來(lái)產(chǎn)光，功率能做到千瓦級(jí)，比ASML最先進(jìn)的EUV機(jī)還強(qiáng)四倍以上。

清華2017年提出原理，2021年與德國(guó)團(tuán)隊(duì)用實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)登上《Nature》，2022年進(jìn)入工程化預(yù)研，2023年起國(guó)家層面推進(jìn)選址，雄安等地開始評(píng)估建設(shè)可行性。

業(yè)內(nèi)普遍把它稱為“改變規(guī)則”的路線，不是在和ASML比機(jī)器性能，而是跳出它定義的領(lǐng)域，搞成基礎(chǔ)設(shè)施級(jí)工業(yè)工程。

“光刻工廠”的意義不僅是另?xiàng)l技術(shù)路徑，更像是把芯片產(chǎn)業(yè)的高度從“精密設(shè)備”拉到“中國(guó)最擅長(zhǎng)的重工業(yè)”。

如果光源能像電一樣按需輸送，一座工廠能同時(shí)喂幾十臺(tái)光刻工作站，那么我們就能在EUV缺席的情況下跑出自己的高端光刻體系。

這種路線的價(jià)值，在于不用糾纏于那些被西方死死保護(hù)著的微觀領(lǐng)域，而是把問題放到宏觀工程里解決。

而“宏觀工程”三個(gè)字，本身就是中國(guó)在全球最擅長(zhǎng)、最穩(wěn)定的底層能力。

不過，光刻工廠的故事是中長(zhǎng)期打法，短期的飯還得吃。

傳統(tǒng)DUV不能斷，材料、光源、控制系統(tǒng)缺了都不行。

所以產(chǎn)業(yè)鏈另一頭在快速補(bǔ)洞，SMEE的28nm機(jī)已經(jīng)到了試產(chǎn)前夕，國(guó)產(chǎn)光刻膠在向高端爬，KrF覆蓋7nm工藝，清華的新型EUV光刻膠突破靈敏度瓶頸，恒坤、南大光電這些企業(yè)加速擴(kuò)線。

整體看就是一句話：能補(bǔ)什么補(bǔ)什么，能做一塊是一塊。

現(xiàn)在整個(gè)局面很明確，西方在賭封鎖，中國(guó)在賭突破。

這不是一家公司、一套設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)，而是一條超級(jí)產(chǎn)業(yè)鏈的兵對(duì)兵、將對(duì)將。

封鎖越狠，中國(guó)越是把資源往里壓。

大基金三期一次性砸了288億給材料端，各省加大投入，蘇州、上海、無(wú)錫、合肥、杭州等地，大大小小兩千多家企業(yè)在拼命補(bǔ)位。

國(guó)內(nèi)現(xiàn)在的打法就是“全鏈條一起拉”，缺哪塊補(bǔ)哪塊，不給對(duì)方留下空檔。

除了主流路線，也有人在走偏鋒突破。

電子束直寫設(shè)備在浙江那邊已經(jīng)能做8nm級(jí)別的小批量研發(fā)芯片，雖然不能上大規(guī)模量產(chǎn)，但在科研、專用芯片領(lǐng)域已經(jīng)是一條支線。

杭州一些裝備企業(yè)搞的納米壓印，也有突破窗口。

你做不出EUV，我就做能滿足部分需求的平行路線，只要能撕開一道口子，就是勝利。

這給西方造成了很大的心理壓力，富凱嘴上說(shuō)“中國(guó)落后10到15年”，可他也知道，芯片產(chǎn)業(yè)不是只看2nm、3nm這么簡(jiǎn)單。

汽車、電力、工業(yè)控制、風(fēng)電、光伏、新能源車這些行業(yè)需要的不是2nm，而是28nm、45nm、65nm這些成熟工藝。

中國(guó)要的不是一顆最強(qiáng)的芯片，而是穩(wěn)定、完整、能撐起制造業(yè)底盤的全體系。

成熟制程越穩(wěn)定，產(chǎn)業(yè)越穩(wěn)；產(chǎn)業(yè)越穩(wěn)，美國(guó)制裁效果越弱。

ASML最怕的不是“少賣幾臺(tái)機(jī)器”，而是中國(guó)把缺口補(bǔ)上之后，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈形成自主循環(huán)。

它也怕“光刻工廠”跑通，把ASML幾十年的專利體系一腳踢開。

它更怕SMEE的28nm機(jī)量產(chǎn)后，中國(guó)開始自己往20nm、14nm方向迭代。

它最怕的，是中國(guó)從設(shè)備、材料、工藝、光源一路打通，形成自己的規(guī)則。

芯片之爭(zhēng)，說(shuō)到底不是設(shè)備之爭(zhēng)，而是產(chǎn)業(yè)能力之爭(zhēng)。

美國(guó)賭我們扛不住封鎖，我們賭自己能靠全社會(huì)的力量把產(chǎn)業(yè)鏈拼出來(lái)。

看著現(xiàn)在這種多路并進(jìn)、科研團(tuán)隊(duì)和企業(yè)一起往前沖的勁頭，未來(lái)格局會(huì)怎么變已經(jīng)越來(lái)越明朗。只要這條鏈條一旦咬合成功，全球半導(dǎo)體的秩序就會(huì)跟著改變。

畢竟，從修飛機(jī)到造高鐵，從火箭到電動(dòng)車，從水電站到超大工程，中國(guó)最擅長(zhǎng)的一直是“把不可能變成工程”。

而當(dāng)芯片制造被推回工程領(lǐng)域時(shí)，這場(chǎng)比賽誰(shuí)更有優(yōu)勢(shì)，就已經(jīng)不難判斷了。

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