中國(guó)這些年對(duì)光刻機(jī)的進(jìn)口量一路飆升,尤其是從荷蘭ASML公司買的那些設(shè)備,數(shù)據(jù)擺在那兒,讓人看不懂。2024年,中國(guó)從ASML采購(gòu)了大約89.2億歐元的光刻機(jī),占了ASML全年系統(tǒng)銷售額的41%,成了它最大的客戶。
可奇怪的是,這些機(jī)器買回來(lái)后,并沒(méi)有馬上大規(guī)模用來(lái)生產(chǎn)芯片,而是囤著,或者拿來(lái)研究。
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光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備,全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)2024年銷售額1090億美元,光刻機(jī)占比24%,穩(wěn)坐頭把交椅。要造7納米以下的先進(jìn)芯片,得用極紫外光刻機(jī),但這個(gè)全球就ASML一家能做,單臺(tái)賣1.5億美元以上。
中國(guó)買的主要是深紫外光刻機(jī),因?yàn)闃O紫外早就被禁了。從2019年美國(guó)商務(wù)部針對(duì)華為切斷供應(yīng)鏈開始,到2023年荷蘭禁止先進(jìn)深紫外出口,再到2024年美荷聯(lián)合禁特定型號(hào),這層層加碼的管制,讓中國(guó)企業(yè)只能抓緊囤貨。
2023年全年,中國(guó)進(jìn)口光刻機(jī)花費(fèi)約600億元人民幣,比2022年的200億元翻了兩倍。2025年前兩個(gè)月,又進(jìn)口32臺(tái),花費(fèi)76億元,同比增256%。這些數(shù)字不是白來(lái)的,海關(guān)數(shù)據(jù)和ASML財(cái)報(bào)都對(duì)得上。
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管制越來(lái)越緊,中國(guó)企業(yè)就越買越多,這不是沖動(dòng)消費(fèi),而是實(shí)打?qū)嵉膽?zhàn)略儲(chǔ)備。想想看,荷蘭政府從2024年1月起收緊對(duì)華出口,將NXT:2000i等高端深紫外機(jī)列入禁運(yùn)清單。中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)這些大廠,得趕在大門關(guān)死前多囤點(diǎn)兒。
這些設(shè)備不光是生產(chǎn)工具,更是未來(lái)3到5年產(chǎn)業(yè)發(fā)展的底牌。全球半導(dǎo)體協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)表明,光刻機(jī)占芯片制造設(shè)備支出的25%,沒(méi)了它,生產(chǎn)線就轉(zhuǎn)不動(dòng)。中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)沒(méi)一頭扎進(jìn)最先進(jìn)制程,而是主攻28納米到90納米的成熟工藝。
這些芯片聽(tīng)著不炫,但車用電子、智能家居、物聯(lián)網(wǎng)都離不開,市場(chǎng)份額全球超60%,需求未來(lái)十年穩(wěn)著呢。中國(guó)已占全球成熟芯片市場(chǎng)的35%,要守住這塊兒,ASML的深紫外機(jī)少不了。
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2025年,中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備自給率預(yù)計(jì)達(dá)50%,從2024年的13.6%跳上來(lái),這得益于進(jìn)口設(shè)備提供的緩沖。不是說(shuō)中國(guó)就靠買買買,實(shí)際情況復(fù)雜多了。一臺(tái)高端光刻機(jī)有八萬(wàn)多個(gè)零部件,全是全球頂尖企業(yè)的機(jī)密,逆向工程沒(méi)那么簡(jiǎn)單。
中國(guó)走的是務(wù)實(shí)自主路,上海微電子2025年實(shí)現(xiàn)28納米光刻機(jī)量產(chǎn),核心部件國(guó)產(chǎn)化超90%。浙江大學(xué)研發(fā)的電子束光刻機(jī)精度到0.6納米,線寬8納米。中芯國(guó)際用深紫外機(jī)優(yōu)化多重曝光工藝,試制出7納米芯片,良率達(dá)90%。這些進(jìn)步,讓進(jìn)口機(jī)從單純生產(chǎn)轉(zhuǎn)為研究樣本。
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2020年采購(gòu)額150億元,占ASML營(yíng)收12%,2021年升到250億元,占14%,2022年約400億元,超20%,2023年725億歐元,約6000億元,全年225臺(tái)入港,即便禁令下還買了300多臺(tái)。
2024年訂單占比一度近一半,全年101.9億歐元,中芯拿了78億歐元。2025年訂單占比降到20%,但本土測(cè)試加速了。
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拆解從晶圓臺(tái)和光學(xué)系統(tǒng)入手,用算法優(yōu)化多重曝光,把40納米線寬擠到7納米。華為Mate 60 Pro的7納米芯片就是實(shí)證,晶體管密度每平方毫米1.5億,性能穩(wěn)定。
Mate 70的本土芯片密度達(dá)1.8億。專利申請(qǐng)從2020年的500件到2023年的2500件,增400%。上海微電子的SSA/800系列分辨率28納米,套刻精度1.9納米。2025年12月,完成28納米浸沒(méi)式深紫外量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn),預(yù)計(jì)2026年投放市場(chǎng)。極紫外原型光源功率升20%,掩膜國(guó)產(chǎn)化80%。
這套打法短期用成熟節(jié)點(diǎn)撐產(chǎn)業(yè),長(zhǎng)期逼近先進(jìn)工藝。2025年全球半導(dǎo)體營(yíng)收預(yù)計(jì)7720億美元,2026年9750億美元,邏輯和存儲(chǔ)拉動(dòng),亞太增長(zhǎng)近25%。2024年中國(guó)出口1.03萬(wàn)億元,2025年前十月9311億元,增21.4%。
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這盤棋長(zhǎng)遠(yuǎn)在哪兒?不是一兩代芯片參數(shù),而是供應(yīng)鏈從可用到可控。短期看良率成本,長(zhǎng)期看方法。中國(guó)用囤拆研產(chǎn)四步走,掌握要訣。米勒判斷有道理,懂了光刻,西方優(yōu)勢(shì)就不牢了。
全球設(shè)備支出預(yù)計(jì)2024到2027年超1000億美元,中國(guó)成重心,本土設(shè)備上位。ASML在中國(guó)市場(chǎng)份額從2023年的30%-40%降到2025年的20%。國(guó)家大基金三期3440億元,扶持光刻鏈。
長(zhǎng)春光機(jī)所做物鏡,北京科益虹源激光源,華卓精科雙工件臺(tái)。歐盟報(bào)告,對(duì)華貿(mào)易成員國(guó)GDP增速高1.8%。巴西簽兩洋鐵路,加強(qiáng)合作。中國(guó)芯片自主化重塑格局,不是搶一時(shí)量,追一世可控。問(wèn)題還在,囤到啥程度夠?多重曝光成本怎么匹配市場(chǎng)?這些得用量產(chǎn)數(shù)據(jù)說(shuō)話。
2025年,中國(guó)自給率升,進(jìn)口降,ASML和東京電子慌了,中國(guó)芯片廠不那么依賴進(jìn)口了。自給率從2024年的35%-40%往上走,產(chǎn)業(yè)鏈耐心積累。封鎖帶來(lái)壓力,能力重塑規(guī)則。這事兒不需要口號(hào),就看穩(wěn)定產(chǎn)線和可靠算法。
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