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光刻機是半導體行業的核心,沒它芯片就沒法精細刻畫。全球市場基本被荷蘭的ASML一家把持,他們從1984年起步,靠著精密光學和曝光技術,占據了九成份額。高端EUV光刻機更是他們的獨門絕活,能處理7納米以下的制程,價格一臺頂得上幾架飛機。
其他國家想買,還得看出口管制,尤其是中國,從2019年起美國就開始施壓,禁止ASML賣最先進的EUV給中國企業。到了2025年,連相對落后的DUV光刻機出口也層層設卡,荷蘭政府部分撤銷許可證,影響中芯國際這樣的廠家采購。
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中國半導體起步不算早,上世紀五十年代才開始摸索,1956年國家科技規劃就把這塊列為重點。1958年拉出第一根硅單晶,1960年搞出首批鍺晶體管,這些基礎活兒為后來電子產業鋪路。七十年代產量低,良率不高,八十年代引進外資建廠,但核心設備一直靠進口。
九十年代市場份額小,技術落后國際十年。進入2000年后,政策扶持加大,企業投資建廠,產業鏈慢慢成型。2010年需求旺盛,但ASML優先供其他客戶,中國只能買中端貨。2020年管制升級,外匯流出嚴重,每年上百億美金花在采購上。
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國產光刻機路子走得曲折,上海微電子的設備能到90納米量產,28納米還在研發階段。2023年推出28納米機型,2025年優化后良率超八成,但跟ASML的5納米比還有差距。國產化率低,僅12%,90%靠進口。
產業鏈上游材料如光刻膠和光學玻璃,國內企業像恒坤新材募資15億擴產,KrF光刻膠覆蓋7納米,2025年底產能500噸。中下游封裝測試有進展,但整體依賴外供。光刻膠市場2024年80億規模,2026年預計152億,政策大基金三期投288億支持材料領域。
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美國目的明顯,想遏制中國半導體崛起,2024年新增實體清單,2025年DUV管制擴展到NXT:1970i和1980i型號。中國企業囤積設備,2023年ASML向中國交付大量DUV,合規窗口期內搶貨。
分析師擔心這些機器用于軍事技術,但中國強調自主研發,南京機構專注光刻研究。德國提供部分合作,提升光學能力,但整體環境惡化,產業鏈脆弱。光刻機不光是機器,還牽扯光學薄膜、電子化學品,整個生態龐大,中國從這些入手補短板。
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中國承認短期造不出頂尖光刻機,尤其是EUV那種復雜的,但不死磕單臺設備,轉而建完整光刻工廠。這思路一出,2023年9月曝光,就讓ASML高層緊急開會。不是復制機器,而是用同步輻射裝置(SSMB)當中央光源,建一公里長加速器,管多條生產線。
簡單說,像建印刷廠,不賣打印機,純基建模式。清華團隊牽頭,2025年第三季度進入試產,用粒子加速器產生EUV光,繞開ASML壟斷的光源技術。
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工廠方案核心是產業鏈整合,上游光源統一供應,下游多線并行曝光。光源系統決定性能,縮小波長提升分辨率,光學元件精密加工。材料環節,光刻膠涂布均勻,影響圖案清晰。設備包括雙工件臺,移動硅片穩定。
中國工廠補齊薄弱點,上游采購電子特氣,下游芯片切割。2025年上海公司推出28納米機,工廠試產3納米,采用激光誘導放電,顛覆舊方案。
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ASML看到這計劃,市場份額波動,2025年上半年中國營收占比超25%,但先進設備受限。中國不擔心盈利,定制生產,外匯少流出。巨頭原本得意,以為管制能卡住中國,但工廠模式威脅長遠壟斷。
2025年ASML全年營收增長15%,毛利率52%,內部討論中國動態。股價起伏,高管承認中國芯片落后西方15年,但自主路徑多線突圍,如納米壓印和電子束光刻。浙江團隊首臺商用電子束機,線寬8納米。
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信件內容曝光,用食物比喻:主機像底,零件像料,光源像熱。每道工序一層一層加,精確控制。工廠目標掌握全流程,從材料到檢驗。ASML不擔心短期,但長遠市場獨占鰲頭難保。中國從德國獲樣品,加速進程。2025年8月,出貨里程碑,推動產業。巨頭調整策略,增加研發支出,推出新款,但慌張情緒明顯。
中國半導體投資持續,2025年光刻膠國產化循環形成,政策技術需求正向。光谷百億項目沖刺投運,填補通信激光材料空白。產業鏈全景,上游材料供應,下游功率器件應用。A股江蘇企業最多,投資布局增加。全球格局演變,中國突破90納米量產,28納米測試。自給率提升,巨頭加強合作限制。
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其他路線如杭州納米壓印設備,精度高。電子束并行,2025年進展顯著。市場準入受限,但國產替代推進。產業鏈投資升溫,重點拆解分析。巨頭減輕關稅影響,公布訂單。中國夢圓,工廠輸出產品。挑戰空前,但薄弱漸強,獨立化可期。
全球封鎖背景下,機遇并存。光刻材料受益面板轉移,銷售增長。掩膜版精密組件替代廣闊,公司研發試產。政策支持保障發展。挑戰如技術差距大,市場依賴進口,任重道遠。但繁榮在即,2025市場規模億元級。預測2032全球更大。中國份額升,EUV機器試生產,更簡單架構。
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產業鏈聯動發力,不光主梁,配件跟上。設備上海微電子600系列,中芯批量。光刻工廠落地,先進芯片生產變“建電站”。ASML模式日子或終結。2025系列動作,半導體史上協同攻堅。華為基地等,催生突破。
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