美國(guó)技術(shù)機(jī)構(gòu)：如果中國(guó)遲遲造不出EUV，跟日本企業(yè)合作，采用佳能的設(shè)備是突破封鎖的唯一機(jī)會(huì)

太陽(yáng)真是打西邊出來(lái)了，美國(guó)人居然開(kāi)始教我們?cè)趺赐黄扑麄冏约旱姆怄i？

最近，美國(guó)著名的半導(dǎo)體技術(shù)機(jī)構(gòu)SemiAnalysis發(fā)了篇報(bào)告，那是相當(dāng)“貼心”。他們說(shuō)，如果中國(guó)遲遲造不出EUV光刻機(jī)，不如去跟日本佳能合作，買(mǎi)他們的“納米壓印”設(shè)備。據(jù)說(shuō)這玩意兒理論上能干到5nm甚至2nm，成本還比ASML的EUV便宜一大截。

聽(tīng)著是不是挺像那么回事？感覺(jué)像是在絕境里給我們指了一條明路。但各位得長(zhǎng)個(gè)心眼，美國(guó)人什么時(shí)候這么好心過(guò)？他們指的路，通常要么是死胡同，要么是沼澤地。

先得把這個(gè)“納米壓印”是個(gè)什么鬼搞清楚。ASML的光刻機(jī)是“畫(huà)”，用極短波長(zhǎng)的光把電路圖投射到晶圓上；而佳能的納米壓印，說(shuō)白了就是“蓋章”。把電路圖刻在模具上，然后像蓋公章一樣，硬生生壓在晶圓上。這技術(shù)確實(shí)不是吹的，早在1995年就被華人科學(xué)家周郁提出來(lái)了，佳能憋了這么多年，去年終于拿出了商用機(jī)型FPA-1200NZ2C，號(hào)稱能替代EUV。

那為什么說(shuō)這是個(gè)坑呢？因?yàn)檫@玩意兒有個(gè)致命的死穴——良品率。你拿光去照，那是無(wú)接觸的，干凈；你拿章去蓋，那是物理接觸。只要模具上沾了一粒灰塵，或者壓的時(shí)候歪了那么幾納米，這塊芯片就廢了。對(duì)于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的存儲(chǔ)芯片（比如閃存），壞一點(diǎn)還能屏蔽掉湊合用；但對(duì)于結(jié)構(gòu)復(fù)雜的邏輯芯片（比如手機(jī)里的CPU），稍微有一點(diǎn)瑕疵，整塊芯片就是廢硅。所以，佳能這設(shè)備目前也就能賣給鎧俠、鎂光造造存儲(chǔ)，真要拿來(lái)造麒麟芯片，估計(jì)廢品能堆成山。

美國(guó)人之所以敢放風(fēng)說(shuō)“你們可以用這個(gè)”，甚至在出口管制上對(duì)日本這套設(shè)備睜一只眼閉一只眼，就是看準(zhǔn)了這一點(diǎn)。他們知道，納米壓印目前還威脅不到高端邏輯芯片的統(tǒng)治地位。如果中國(guó)企業(yè)真把寶全押在這上面，放棄了EUV的攻關(guān)，那才是中了調(diào)虎離山計(jì)。等我們費(fèi)勁巴拉把納米壓印的良率提上來(lái)，黃花菜都涼了。

當(dāng)然，咱們中國(guó)人也不傻。這技術(shù)確實(shí)是條路子，但這絕不是什么“救命稻草”，充其量是個(gè)“備胎”。而且，這個(gè)備胎我們也沒(méi)打算全靠買(mǎi)?？赡芎芏嗳瞬恢?，杭州有家叫璞璘科技的公司，那是咱們自己的隊(duì)伍。老板是周郁的學(xué)生，正兒八經(jīng)的科班出身，他們的設(shè)備去年8月就已經(jīng)交付了，雖然還沒(méi)佳能那么先進(jìn)，但起碼把20nm以下的門(mén)檻給摸到了。更重要的是，他們把光刻膠、模具這些配套材料全給打通了。

這才是中國(guó)半導(dǎo)體的真實(shí)邏輯：兩條腿走路。傳統(tǒng)的光刻機(jī)我們要搞，納米壓印這種彎道超車的技術(shù)我們也要搞。但我們絕不會(huì)因?yàn)槊绹?guó)人的一句“建議”，就天真地以為可以靠買(mǎi)日本人的設(shè)備來(lái)躺贏。

美國(guó)專家的這個(gè)“建議”，聽(tīng)聽(tīng)就得了。他們?cè)绞窍氚盐覀兺硹l路上趕，我們?cè)绞且枘菞l路上是不是埋了雷。在這個(gè)世界上，能救中國(guó)芯片的，只有中國(guó)自己的實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)線。至于佳能？那是錦上添花的事，絕不是雪中送炭。

想靠“蓋章”蓋出一個(gè)芯片強(qiáng)國(guó)？這事兒，沒(méi)那么簡(jiǎn)單。

參考信源：

• SemiAnalysis: Nanoimprint Lithography: Stop Saying It Will Replace EUV (2025.12.02)

• Canon Global: Launch of FPA-1200NZ2C Nanoimprint Semiconductor Manufacturing Equipment (2023.10.13)

• Hangzhou Porin Technology: Corporate Milestone and PL-SR Series Delivery Report (2025.08)