當我們今天為芯片自主研發奮力攻堅時,很少有人知道,半個多世紀前的中國山溝里,早已響起過光刻技術的東方驚雷。那是一段被主流敘事輕描淡寫的歲月,卻是中國科技史上足以昂首的輝煌序章。
驚世初啼:與世界同步的東方微光
上世紀六十年代中期,全球光刻技術還處在萌芽階段,中國科學院的科研人員正在簡陋的實驗室里創造奇跡——65型接觸式光刻機成功問世。沒有精密的進口設備,沒有先進的無塵車間,科研人員靠著土法革新和反復試錯,讓中國在這一尖端領域,與世界強國站在了同一條起跑線上。
十年后的七十年代,技術火種已成燎原之勢。武漢無線電元件三廠編寫的《光刻掩模版的制造》正式出版,這部專著系統梳理了當時的工藝方法,標志著中國光刻技術不僅有了扎實的實踐積累,更完成了理論體系的搭建與傳承。
更值得銘記的是當時的時代坐標:日本半導體產業剛剛起步,如今的巨頭韓國和中國臺灣地區尚未涉足該領域,而被奉為行業標桿的荷蘭ASML,還要等到1984年才出生。彼時的中國光刻技術,正處在全球第一梯隊的賽道上。
三線脊梁:山溝里的"爭氣機"制造者
這些成就的背后,隱藏著一群隱姓埋名的奉獻者,和他們扎根深山的三線企業。在"備戰、備荒、為人民"的戰略指引下,四機部4503廠(寶雞)、877廠(陜南商縣)等企業應運而生,成為國防科技的堅固堡壘。
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國營建光機器廠:市區里的軍工傳奇
1969年,寶雞無線電技工學校與籌建中的4503廠合并,組建為國營建光機器廠,作為國家17個重點軍工項目之一,整合了上海、南京的優質技術資源,專攻半導體設備研發。在三線企業多布局于偏遠山區的背景下,它是少數扎根市區的軍工企業。
七十年代中期,建光機器廠迎來技術爆發:中國第一代接觸式光刻機成功研制,隨后迭代至第三代,與國際同期水平僅相差約10年。這些"爭氣機"立下了汗馬功勞——用于1975年衛星控制系統芯片、核物理研究院離子注入機,研發的陶瓷封裝邏輯電路更是達到當時國際先進水平。
要知道,這一切都是在裝備落后的條件下實現的。科研人員靠著"自力更生""艱苦奮斗"的精神,比ASML早十余年涉足光刻機領域,用青春和智慧為國家筑牢了科技防線。
國營衛光電工廠:山溝里的電子先鋒
1968年12月,陜南商縣(今商州區)李家塬村的山溝里,國營衛光電工廠(877廠)正式動工。來自北京、上海、沈陽的技術骨干們告別都市繁華,在這里扎下根來,生產硅橋式整流器、邏輯電路芯片等關鍵電子元件,其中部分產品還應用于衛星控制系統。
在物資匱乏、交通閉塞的山溝里,沒有優厚待遇,沒有舒適環境,支撐他們的是"為國家生存而戰"的信念,和"外國人能做到的,中國人也一定能做到"的豪情。在這里,科學不是象牙塔里的空想,而是與國家命運緊密相連的戰場;技術不是牟取私利的工具,而是捍衛民族獨立的武器。
1989年,工廠搬遷至西安高新區,2007年改制為西安衛光科技有限公司,延續著三線人的技術基因。
驟至寒冬:被中斷的"臨門一腳"
上世紀七八十年代,國家轉向以經濟建設為中心,"科學的春天"悄然來臨。但對于剛剛嶄露頭角的中國光刻機產業而言,一場致命的"倒春寒"卻不期而至。
"造不如買,買不如租"的思潮迅速蔓延,成為科技制造領域的主導思路。在這種思路影響下,大量"投入大、見效慢"的國之重器項目被粗暴下馬:即將翱翔藍天的運十飛機折翼,直8直升機、遠程戰略轟炸機等項目戛然而止,長城和曙光計算機研發中斷......光刻機項目也未能幸免。
建光機器廠首當其沖:研發經費突然掐斷,光刻機項目被迫下馬,企業無奈轉產民品。可秉持軍工品質的他們用真材實料生產,成本居高不下,根本競爭不過充斥市場的假冒偽劣產品,最終產品滯銷,科技人員大量流失,研發團隊徹底解散。九十年代,工廠曾與西安交通大學嘗試重啟項目,卻因工藝資料廢棄、技術人員流失而無果。
更令人扼腕的是,當時的中國光刻技術已站在突破的邊緣。1980年,清華大學成功研制出第四代分步投影式光刻機,分辨率達到3微米,標志著我們已踏入國際主流水平門檻;武漢無線電元件三廠也積累了二十年的光刻工藝經驗。那是量變即將引發質變的關鍵時刻,只要再堅持幾年,中國光刻技術極有可能躋身世界第一梯隊,改寫全球半導體產業格局。
但歷史沒有如果。一句"造不如買",否定了一代人的奮斗,摧毀了即將成型的產業鏈。數十年積累的工藝數據、技術圖紙、工匠經驗,隨著人員離散而灰飛煙滅,輝煌的科研積累短短數年間便化為歷史塵埃。
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回望與啟示:三線精神從未遠去
今天翻出這段歷史,并非沉湎遺憾,而是為了銘記那些隱姓埋名的三線建設者——他們在簡陋條件下創造的奇跡,印證著中國人的智慧與韌性;他們的堅守與赤誠,更留下振聾發聵的啟示:核心技術買不來、租不來,自主創新才是國家科技發展的根本出路。這份由三線人用熱血踐行的真理,正是我們今日向光刻機等技術壁壘發起沖擊的信念原點。
那具靜臥于廢鐵堆中的殘破光刻機機頭,依舊綻放著穿透塵埃的璀璨光芒。這光芒里,既有歷史的深沉警示,有失敗的悲壯回響,更有從未熄滅的希望火種——它清晰昭示著我們曾走過的艱辛求索之路,曾淬煉的堅韌不拔之魂。如今在新時代征程上,我們正從歷史的印記中昂首起身,拂去歲月塵埃,重拾那份初心與豪情,這份精神恰如三線歲月的熱血,早已融入前行血脈。
三線歲月里的那股熱血和死磕勁,早融進中國科創的血脈里了。現在我們再跟光刻機這些"卡脖子"技術死磕的時候,那些扎在山溝里干出來的故事,就是我們破局最硬的底氣!
(圖片來自網絡 編輯|龍山)
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