瞄向下一代光刻機EUV方案突破，這家激光智造公司在深圳秀出實力

2025 年 9 月 10 日，第二十六屆中國國際光電博覽會（CIOE）在深圳國際會展中心盛大開幕。本屆深圳光博會匯聚了來自全球超 30 個國家和地區的 3800 余家優質企業，預計吸引超過 16 萬名專業觀眾參與。作為中國唯一、全球唯二掌握碟片激光核心技術并實現工業化生產的中國企業，蘇州中輝激光科技有限公司攜系列重磅產品精彩亮相本屆展會，以“中輝激光，面向未來”為主題，向全球展示中國激光設備的創新實力與產業雄心。

中輝激光展位（圖片來源：中輝激光）

聚焦激光智造，碟片技術引關注

當前，我國激光制造產業正處于規模擴張與質量提升的雙重轉型期。根據中國光學學會的數據，2024年中國激光設備銷售收入占全球市場份額達 56.6%，已經成長為全球最大的激光應用市場。隨著新能源汽車、新型光伏、半導體等戰略產業的快速發展，激光技術在精密加工、先進封裝等領域的需求還將繼續呈爆發式增長。

而激光器憑借著在整個激光產業中的核心光源器件與技術引擎地位，長期在激光設備中占據著40%以上的價值量。近年來，碟片激光器作為新崛起的技術更是吸引著相關企業輪番競逐，在一些如下一代光刻機EUV方案等引人關注的“卡脖子”難題上，碟片激光器也在成為強有力的路線競爭者。

中輝激光作為國內首家高功率碟片激光器供應商，此次參展重點展示了其在激光智能制造領域的代表性產品。作為一家成立僅僅四年的公司，中輝激光不僅實現了對國外高端激光器技術壟斷的突破，并走出了一條自主且特色鮮明的企業發展路徑。

中輝激光董事長顏永振表示：“在現代制造業當中，激光是非常重要的存在，被譽為制造業‘最快的刀’。而我們中輝激光選擇攻關難度最大、國內尚屬空白的碟片激光器，就是堅信其在平均功率和脈沖能量上的天然優勢有助于我們在工業制造領域中做深做廣。”

技術破壁，打開未來想象空間

在本次展會上，中輝激光共展示了4款戰略級產品，其中，國內首款“批量交付”千瓦飛秒超快激光器UFL1000和年底即將發售的高功率紫外納秒激光器NSL1000持續引發行業廣泛關注。

中輝激光千瓦飛秒超快激光器兼具高平均功率、大單脈沖能量、窄脈寬和高重頻的特征，同時具備脈沖寬度可定制的特點，采用模塊化設計降低系統復雜性和零件成本，并通過智能化閉環控制系統保障使用穩定性，可廣泛應用于特殊金屬和SiC等超硬材料加工。

中輝激光千瓦飛秒超快激光器UFL1000（圖片來源：中輝激光）

而即將發售的高功率紫外納秒激光器則是中輝激光多年的技術積累和創新成果的集大成者，擁有更高的功率、更優異的光束質量以及更穩定的性能，將在脈沖激光沉積（PLD）、激光剝離（LLO）、激光退火（LA）等多個工藝場景，為超導材料制備、OLED顯示、乃至半導體晶圓加工等不同行業提供了更具性價比與加工效率的解決方案。

中輝激光高功率紫外納秒激光器NSL1000（圖片來源：中輝激光）

中輝激光總經理章淼介紹：“這些產品的推出，標志著中輝激光已躋身全球超快激光器先行者行列，可以賦能工業制造的千行百業。未來，我們中輝激光還將在超導材料制備、國產EUV光源、可控核聚變激光點火等國家世紀性戰略工程中承擔極為重要的任務和使命。”

面向未來，持續引領激光行業發展

當前，我國工業制造領域正處于“機械加工”向“光加工”升級的關鍵時期，制造業對自動化、智能化生產模式的需求日益增長。中輝激光憑借技術優勢，已參與科技部“十四五”國家重點研發計劃重點專項中。

著眼未來，中輝激光將繼續深耕千瓦超快激光器平臺，目標規劃將產品功率提升至 5 千瓦甚至萬瓦量級，持續推動激光技術在更多高端制造場景的深度應用。尤其是在國人關心的光刻機EUV領域，中輝激光也不斷夯實技術基本功，有望為國產突破作出新的貢獻。

顏永振董事長強調：“激光技術的終極使命不是制造設備，而是重塑制造業的底層邏輯。中輝激光目標是讓中國激光技術不僅照亮高端制造的現在，更定義全球產業變革的未來。”