邏輯:據(jù)財(cái)聯(lián)社8月14日新聞,中國第一臺(tái)商業(yè)化的電子束光刻機(jī)“羲之”已進(jìn)入應(yīng)用測(cè)試階段,光刻機(jī)的精度能夠媲美國外主流設(shè)備。這標(biāo)志著,中國的量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。
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據(jù)報(bào)道,該電子束光刻機(jī)相比較傳統(tǒng)光刻機(jī),不需要掩膜版。可通過高能電子束直接在硅基上寫電路,精度達(dá)到0.6納米,線寬8納米。而且該電子束光刻機(jī)專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)。
電子束光刻機(jī)的面世意義重大,因?yàn)閲忾L(zhǎng)期對(duì)我國實(shí)行半導(dǎo)體設(shè)備出口管制,中國的科學(xué)家很難買到電子束光刻機(jī)。如今中國成功研發(fā)了電子束光刻機(jī),不僅填補(bǔ)了國內(nèi)技術(shù)的空白,而且由于性價(jià)比高,吸引了很多國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)合作。據(jù)《ZAKER》8月16日?qǐng)?bào)道,目前已有復(fù)旦大學(xué)、華為海思等 12 家科研機(jī)構(gòu)搶先簽約,拿下電子束光刻機(jī)訂單。
受此消息影響,近期相關(guān)公司紛紛走強(qiáng)。
下面是電子束光刻機(jī)11家核心概念公司名單,建議點(diǎn)贊收藏:
第11家,博眾精工,公司是國內(nèi)智能化生產(chǎn)解決方案領(lǐng)域行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)之一。電子束光刻機(jī)需要高穩(wěn)定度直流高壓電源,公司能夠提供相應(yīng)的電源解決方案,填補(bǔ)了國內(nèi)技術(shù)空白。公司屬于產(chǎn)業(yè)鏈上游
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第10家,東方中科,公司是中科院旗下,國內(nèi)領(lǐng)先的電子測(cè)試測(cè)量領(lǐng)域綜合服務(wù)商。公司有電子束偏轉(zhuǎn)器控制方案,可應(yīng)用于電子束光刻、電子掃描顯微鏡等場(chǎng)景。公司屬于產(chǎn)業(yè)鏈上游
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第9家,思泰克,公司參股華睿芯材3.75%的股份,華睿芯材擁有電子束光刻膠和高速 3D 打印光刻膠等系列產(chǎn)品,公司屬于產(chǎn)業(yè)鏈上游
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第8家,華懋科技,公司是汽車安全氣囊布龍頭企業(yè)。公司參股徐州博康,徐州博康已有電子束光刻膠產(chǎn)品,該產(chǎn)品能夠標(biāo)準(zhǔn)化和定制化,目前已有數(shù)十家企業(yè)和高校是公司的電子束光刻膠客戶。公司屬于產(chǎn)業(yè)鏈上游
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第7家,波長(zhǎng)光電,公司是國內(nèi)精密光學(xué)元件、組件的主要供應(yīng)商,主營激光光學(xué)、紅外光學(xué)產(chǎn)品。公司在今年5月和浙江大學(xué)合作,共同研發(fā)高端光學(xué)器件。公司在研項(xiàng)目包括電子束光刻(EBL)等核心工藝
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第6家,路維光電,公司是國內(nèi)先進(jìn)封裝掩膜版龍頭,是多個(gè)領(lǐng)先封測(cè)廠的頭部供應(yīng)商。公司已經(jīng)針對(duì)應(yīng)用于電子束光刻的掩膜版技術(shù)開展了研究
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第5家,芯碁微裝,公司是國內(nèi)直寫光刻設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè),在微納直寫光刻領(lǐng)域構(gòu)建了“光、機(jī)、電、軟、算”全棧技術(shù)體系。公司的直寫光刻機(jī)與電子束光刻是競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系。
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第4家,蘇大維格,公司是國內(nèi)少數(shù)既從事裝備制造又從事產(chǎn)品生產(chǎn)的微納光學(xué)制造企業(yè)之一。公司自研的微納光學(xué)關(guān)鍵制造設(shè)備--激光直寫光刻機(jī)和納米壓印光刻機(jī),與電子束光刻是競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系。
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第3家,英諾激光,公司在激光微加工領(lǐng)域擁有顯著的市場(chǎng)地位,尤其在DPSS固體激光器、超短脈沖激光器等方面具備全球領(lǐng)先的技術(shù)能力。公司與浙江大學(xué)共建聯(lián)合研發(fā)中心,共同促進(jìn)激光技術(shù)的發(fā)展。
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第2家,龍圖光罩,公司是國內(nèi)屈指可數(shù)的第三方半導(dǎo)體掩模版廠商,工藝水平、出貨量及市占率居國內(nèi)企業(yè)前列。公司的珠海募投項(xiàng)目中,目前已初步完成第三代光罩產(chǎn)品的工藝調(diào)試和樣品試制,并自主研發(fā)掌握了電子束光刻技術(shù)及PSM相移掩模版等相關(guān)技術(shù)。
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第1家,冠石科技,公司主營半導(dǎo)體顯示器件及特種膠粘材料,應(yīng)用于液晶電視、智能手機(jī)等領(lǐng)域。公司已有成熟的光掩膜版生產(chǎn)制造解決方案,涉及電子束光刻曝寫
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