國產殘余氣體分析儀愛柯銳 PGT 系列 RGA 賦能半導體真空制程

在半導體與先進材料制造的賽道上，真空環境的純凈度，直接決定薄膜品質、器件良率與長期可靠性。分子束外延（MBE）、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等核心工藝，對微量氣體污染零容忍。RGA殘余氣體分析儀，正是捕捉痕量雜質、鎖定污染源頭、完成材料滲透率測試的“火眼金睛”。

RGA殘余氣體分析儀

長期以來，高端殘余氣體分析市場被進口品牌占據，不僅成本高、交付慢，售后響應也難以匹配國內產線節奏。隨著國產替代加速，一批深耕質譜技術的企業迎頭趕上，上海愛柯銳（ACT）便是其中的標桿力量。

愛柯銳自成立起，便專注質譜技術研發與產業化落地。核心團隊匯聚高校、科研院所及真空行業資深專家，平均擁有十年以上研發經驗，深諳半導體制程與真空檢測的底層邏輯。從離子源設計到檢測器優化，從算法迭代到系統集成，團隊堅持自主創新，打造出適配國內科研與量產場景的PGT系列RGA殘余氣體分析儀，以硬核性能打破進口依賴，為用戶提供高性價比的完整解決方案。

RGA殘余氣體分析儀

PGT系列覆蓋PGT100F、PGT100M、PGT200F、PGT200M四款機型，精準匹配實驗室研發與規模化產線的不同需求。100/200amu雙檔質量數范圍，可全面覆蓋工藝氣體、污染物及分解產物檢測；分辨率優于1amu，能清晰區分相近質量數氣體，讓鑒別痕跡污染物更精準。

儀器采用涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲可選配置，兼顧耐用性與抗中毒能力，適配復雜真空工況。FC與EM兩種檢測器模式靈活切換，FC模式靈敏度達2.3E-6A/Pa，EM模式更是高達3.8A/Pa，最小可檢測分壓低至2E-12Pa，輕松捕捉極微量氣體，完美支撐材料滲透率測試等高精度實驗。

嚴苛工況下的穩定性，是RGA的核心價值。PGT系列傳感器最高可耐受200℃工作溫度，支持300℃高溫烘烤，徹底消除腔體放氣干擾；溫度系數＜1%/℃，長時間運行數據漂移極小，2ms高速數據采集，可實時追蹤工藝過程氣體變化，最大工作壓強達6.7E-2Pa，兼容各類真空系統。整機采用24V直流供電，安裝簡潔、適配性強，無縫對接MBE、PVD、CVD、ALD等設備。

RGA殘余氣體分析儀

憑借穩定可靠的品質與完善的服務體系，愛柯銳PGT系列RGA已進入國內眾多高校、科研院所及頭部半導體企業，成為薄膜沉積、真空質控、材料分析等場景的首選設備。公司構建穩定的國產化供應鏈，在保證性能比肩進口產品的同時，大幅降低采購與運維成本，交付更快、售后更及時，真正做到“國產高性能、全球競爭力”。

從實驗室前沿研究到工廠量產質控，從痕量污染溯源到材料滲透率評估，愛柯銳以技術初心守護真空純凈，以國產匠心賦能先進制造。未來，愛柯銳將持續深耕質譜與真空檢測領域，不斷迭代升級PGT系列RGA殘余氣體分析儀，為中國半導體及新材料產業自主可控，貢獻堅實的儀器力量。

PGT系列RGA核心技術參數一覽