美議員提議：只要是ASML制造的DUV光刻機，不允許進入中國大陸

前沿導讀

據《聯合早報》新聞指出，美國國會議員提出新法案，要求收緊在制造設備上面的出口管制，重點約束荷蘭ASML、日本東京電子等企業的對華出口。

新法案包括禁止相關企業工程師在中國部分地區對已有的設備進行維護和維修服務，而且還要在現有的技術管控上再次將范圍擴大，對ASML制造的所有浸潤式DUV光刻機實施更加嚴格的限制。

目前荷蘭僅要求ASML對部分先進的浸潤式光刻機申請出口許可，并且針對的客戶群體有限，并沒有覆蓋所有中國客戶。新法案的落地，將會把覆蓋范圍拉到最大，完全禁止DUV光刻機與中國企業之間的聯系，極大壓縮ASML中國區的生存空間。

參考資料：
美議員提議收緊荷蘭日本企業對華晶片設備出口管制 | 聯合早報網

• https://www.zaobao.com/news/china/story20260403-8836891

持續施壓

2018年，就在美國重啟對中興的制裁之后，中芯國際用1.2億美元的價格緊急向ASML訂購了一臺EUV光刻機。

這個采購價格相當于中芯國際前一年的全年利潤，也在側面凸顯出了EUV光刻機對于中國芯片制造業的重要程度。沒有這臺設備，中芯國際的國產7nm工藝就無法進入測試階段，更不要說實現量產了。

EUV光刻機屬于歐洲企業制造的芯片產業最頂級的工業設備，需要受到《瓦森納協議》的影響。《瓦森納協議》是由美國主導建立的制裁條例，禁止歐美地區的企業未經允許將最先進的科技設備運送到中國本土企業手中。

不過ASML發言人表示，此次合作并沒有違反瓦森納協議，所有客戶都是平等的，而且中芯國際是由美籍華人張汝京所建立，其股東構成多元化，業務板塊面向全球，EUV光刻機出口到中國完全沒有問題。

參考資料：
日媒：中芯1.2億美元下單最先進EUV光刻機，相當于去年利潤

• https://www.guancha.cn/industry-science/2018_05_17_457129.shtml

但是時至今日，這臺EUV光刻機不但沒有交付給中芯國際，反而還連帶著上一代浸潤式光刻機也被實施限制。

根據復旦大學一帶一路及全球治理研究院發布的資料顯示，2019年12月，瓦森納協議進行了新一輪修訂，新增了對計算光刻軟件、12英寸大硅片切磨拋技術的出口管制。隨后美國工業和安全局便依照瓦森納協議新增加的項目，對中國芯片產業實施更加嚴厲的制裁措施。

參考資料：
“瓦森納安排”轉向，技術打壓中國？ - 研究資訊 - 復旦大學一帶一路及全球治理研究院

• https://brgg.fudan.edu.cn/articleinfo_2788_9.html/images/images/webeditor/uploadfile/file/articleinfo_3695.html

2020年，被美國列入實體清單的中國企業將無法獲得制造10nm及以下技術節點的產品或技術。

2021年，美國聯合歐洲、日本、韓國、中國臺灣企業在內的64家半導體供應鏈組建美國半導體聯盟（芯片四方聯盟），開始在供應鏈層級對中國自主芯片實施出口管制。

2023年，日本宣布擴大半導體制造設備的對華出口管制，將涉及芯片制造的6大類23種設備事實限制。同年，ASML發布公告稱，對于部分敏感的中國芯片企業，將無法獲得NXT:1970i及以上型號的浸潤式光刻機。

參考資料：
日本政府宣布計劃限制6類23種芯片制造設備出口，外交部回應

• https://world.huanqiu.com/article/4CIk7e3tuc1

從整個半導體產業的發展歷史上面來看，美國對中國芯片產業實施的制裁力度是巨大的，也是持續時間最長的，同時也是影響最深遠的。

如果將中國芯片這些年受到的制裁措施，放在其他國家企業身上，那么沒有人能夠頂住如此大規模的“制裁轟炸”，但是中國企業不同。中國企業不但掌握了7nm芯片的國產化制造，而且還在光刻機、硅片、制造設備、制造材料等多個領域實現了跨越式發展。

尋求突破

據ASML官方近幾年發布的聲明表示，EUV是被完全禁止出口給中國企業，哪怕是韓國企業在華合資工廠也不允許購買。

而上一代的浸潤式DUV光刻機，中芯國際、華虹這些中國大陸地區的自主企業此前囤積過一批ASML的光刻機設備，現在已經被禁止向ASML繼續采購浸潤式光刻機。

其他合資企業，例如三星西安工廠、SK海力士無錫工廠、臺積電南京工廠可以根據實際情況給予出口批準，并且這些合資工廠也可以獲得來自于美國企業的設備材料。

為了壓制中國本土企業發展，美國還敦促ASML禁止為中國企業提供設備的售后維修服務。

但ASML中國區總裁沈波在進博會上表示，從1988年ASML將第一臺設備運到中國之后，中國市場就是ASML的重要客戶市場，中國市場上留存的光刻機與測量臺，總裝機數量已經達到了1400臺，ASML將會在合規的情況下繼續為中國企業提供服務。

中國市場此前為ASML貢獻了40%以上的銷售占比，是ASML全球第一大客戶市場。

ASML前CEO彼得·溫寧克在接受國際媒體采訪時表示，禁止ASML與中國市場建立有效的合作關系，這是在損失西方國家的經濟利益。禁止他們購買ASML的設備，他們會尋求進步自己開發。一旦中國企業開發出他們自己的制造設備，那么下一步便是依靠自主設備與國際企業展開競爭。