從“門外漢”到“羅大師”

身處數字時代，芯片在我們生活中隨處可見。小到手機、電腦、身份證、銀行卡等日常用品，大到互聯網、云計算、大數據等領先科技，無不以芯片的進步作為支撐。在只有一枚指甲蓋大小的芯片上，密布著上萬米金屬導絲，它們甚至比頭發絲的千分之一還要細。靠人工去焊接顯然不現實，制作這些布線的唯一方法就是用高純度金屬靶材通過濺射的方式去完成。

作為浙江寧波江豐電子材料股份有限公司首席技師，羅明浩深耕半導體材料設備及工藝研究20多年，他主導了我國第一條超大規模集成電路用靶材生產線關鍵設備的設計與制作，打破了國外技術壟斷。從一名普通電工到全國勞動模范、最美職工，羅明浩始終以工匠之心錘煉勞動技能。

羅明浩用“懵懵懂懂”來形容自己初入行的感受。2005年，電工出身的羅明浩加入江豐電子。彼時，我國芯片制造所需的超高純材料和濺射靶材均依賴進口，從原料到設備近乎一張白紙。“第一次接觸‘靶材’概念，連聽都沒有聽說過。”羅明浩告訴記者，沒有專家指導，也無資料參考，他只能和團隊從零開始，一個環節一個環節去研究。

靶材生產需要經過鍛打、壓延、熱處理等多道工序，對爐溫控制要求極高。為了保證1攝氏度的溫差，羅明浩和同事們先后設計了12套方案，畫了幾百張圖紙，不斷改進爐腔風道走向、風機旋轉方案和扇葉選型，逐一攻克系列難題。

憑借在電機焊接、機器維修、設備改造等方面的積累，羅明浩結合半導體靶材設備需求自制了300余套國產設備，節約成本上億元。如今，由他主導設計的超大規模集成電路用濺射靶材生產線關鍵設備所生產的產品，已被成功應用到世界一流企業的先進制程。

“靶材能自己生產，但靶材的原料仍然依賴進口，成本壓力可想而知。”羅明浩介紹，制造靶材的金屬鋁純度需要達到99.9999%，而普通金屬一般只能達到99.8%，盡管差距只有0.19%，但價值卻相差幾十倍。2011年，為突破原材料局限，江豐電子在廠房內單獨開辟出一個金屬精煉鑄造室。有了場地，羅明浩便開始全身心地投入新課題的研究。

鑄造過程中，各類金屬元素之間存在錯綜復雜的關系。為了找到元素間的平衡，將含量控制在標準內，羅明浩和同事們四處尋找合適的設備材料。2015年，國內第一個高純鋁精煉鑄造系統開始運轉，再次打破了國外的技術壟斷。

掌握了金屬精煉鑄造工藝，羅明浩并未感覺“大功告成”。在他心中，始終有個“隱痛”無法釋懷。為了檢測金屬是否達到純度，江豐電子從國外進口了尖端大型分析儀器。但機器初到中國就“水土不服”。由于設備復雜、精密程度高、維修難度大，只有個別外國專家掌握這項技術，聘請他們過來維修花費高、周期長。“外國人行，中國人就不行？”羅明浩選擇繼續迎難攀高，他要與國外頂尖專家“一試高下”。從此，羅明浩在檢測室里安了家。經過半年摸索和研究，他終于把這臺高精尖儀器恢復到正常水平，完全適應了中國現場的要求，并順利檢測出金屬純度十億分之一的微量元素，為達到半導體靶材對純度的極高要求打下了扎實的基礎。

“我始終堅信，一雙沾滿機油的手，也能托起中國芯。一顆扎根一線的匠心，同樣能點燃科技自強的星火。”從材料制備到靶材生產再到分析檢測，羅明浩從一名對靶材毫無了解的“門外漢”蛻變為行業內響當當的“羅大師”，他用20多年的追趕和超越詮釋了對工匠精神的堅守。

“江豐電子的成功，既有‘老師傅’經驗凝練的工藝口訣，也有‘90后’技術員數智重構的生產邏輯。”如今，羅明浩把目光聚焦到培養年輕技術人員身上。“科技自主創新之路不是單人百米沖刺，而是代代接力的馬拉松。”在羅明浩看來，制造業的變化日新月異，需要更多有見識、有恒心、有毅力的年輕人，將所學知識和技術轉化成生產力。正是這種傳統與創新的激蕩交融，讓半導體材料的品質在淬煉中越發精進。（經濟日報記者 康瓊艷）