吉林
近日，吉林大學鄒廣田院士團隊在大尺寸單晶金剛（參數丨圖片）石制備領域取得重大突破，成功研發出擁有自主知識產權的“臺階流調控技術”，并制備出2英寸（50×50mm2）單晶金剛石。
相關成果發表于國際學術期刊《FunctionalDiamond,2026,6,2620820》。標志著我國在“下一代超寬禁帶半導體”戰略材料金剛石的制備技術上邁出關鍵一步。
金剛石以其卓越的物理和電學性能，被譽為“終極半導體”材料，在功率電子、射頻器件、量子信息等前沿領域具有廣闊應用前景。
圍繞高質量單晶金剛石制備難題，鄒廣田團隊持續開展系統攻關，在生長機理、晶體質量控制及晶圓加工等方面取得多項原創成果：一是發現“單晶生長區”，實現無邊緣多晶伴生穩定生長；二是揭示“一致臺階流”對籽晶拼接縫平滑過渡的關鍵作用，簡化工藝、降低成本；三是聯合研發激光隱形切割技術，成功剝離厚度350微米的自支撐單晶金剛石晶圓，尺寸與結晶質量均達到國內外先進水平。
吉林大學高壓與超硬材料全國重點實驗室60余年深耕，從1987年第一片CVD金剛石到2026年2英寸單晶+毫米級六方金剛石+界面優化，形成國內最完整的金剛石研發-制備-應用鏈條。這一體系支撐國家自主可控，更為全球碳基半導體與超硬技術貢獻方案。隨著器件集成驗證與產學研融合，金剛石必將迎來全面商業化黃金期。
來源：吉林發布
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