中國造不出光刻機(jī)？中科大副院長：美國造不出，中國永遠(yuǎn)都不可能

全球半導(dǎo)體圈子的氣氛依舊劍拔弩張，荷蘭巨頭阿斯麥（ASML）放出風(fēng)聲，那臺標(biāo)價4億美元的新一代High-NA EUV光刻機(jī)已經(jīng)正式進(jìn)入工廠量產(chǎn)。

兩年前中科大前副院長朱士堯的那句“狠話”——“美國造不出，中國永遠(yuǎn)都不可能”，再次被翻出來推到了風(fēng)口浪尖。

這話聽著確實(shí)刺耳，在大家憋著一股勁搞自主突破的時候，這種言論難免被貼上“長他人志氣”的標(biāo)簽。但如果咱們關(guān)掉情緒濾鏡，冷靜地鉆進(jìn)這臺號稱“人類工業(yè)皇冠明珠”的機(jī)器內(nèi)部看看，就會發(fā)現(xiàn)這并非一句簡單的否定，而是一個清醒且冷酷的科學(xué)判斷。

芯片制造的本質(zhì)，其實(shí)就是在指甲蓋大小的硅片上蓋高樓。1957年萊斯羅普老爺子定下的規(guī)矩到現(xiàn)在也沒變：先涂光刻膠，再拿光線穿過掩膜版去照射。可當(dāng)芯片制程跑到7納米以下時，物理學(xué)的大墻擋住了去路，這就是光波繞射。

光線不再聽話地筆直前進(jìn)，而是開始打彎、散光。為了解決這個問題，科學(xué)家決定換一把更細(xì)的刀——極紫外光（EUV）。其波長只有13.5納米，細(xì)得驚人，可制造這道光的過程簡直是“暴力美學(xué)”。

拿光源來說，你沒法在燈具店買到這種燈泡。阿斯麥與美國西蒙公司想了個奇招：讓微小的液態(tài)錫滴以每秒300公里的速度飛過。接著拿超高功率雷射去轟擊它，而且得連轟兩次。

第一次打扁，第二次直接加熱到22萬攝氏度，這溫標(biāo)比太陽表面還要高出40倍。錫滴瞬間變成等離子體，這才輻射出那么一點(diǎn)點(diǎn)極紫外光。為了維持能量輸出，這種動作每秒鐘要重復(fù)5萬次，哪怕零點(diǎn)幾秒的偏差都會導(dǎo)致失敗。

光有了，還得有鏡子去引路。因?yàn)闃O紫外光極其嬌貴，普通玻璃會直接把它吞掉，整臺機(jī)器必須做成全真空環(huán)境。德國蔡司公司打造的全反射鏡系統(tǒng)，平整度要求到了變態(tài)的地步。

就鏡面的光滑度來說，如果把這面鏡子放大到整個臺灣島那么大，表面的起伏不能超過一根頭發(fā)絲。在地球上拿著雷射筆射中月球上的一顆乒乓球，這種精度就是光刻機(jī)的日常。

看清了這些挑戰(zhàn)，就能理解朱士堯說“美國造不出”的深意。頂尖光刻機(jī)壓根不是哪一個國家的私產(chǎn)，它是全球頂尖技術(shù)的“大合唱”。

這臺機(jī)器里有10萬多個精密零件，供應(yīng)鏈延伸到全球5000多家企業(yè)。阿斯麥與其說是個制造廠，不如說是最牛的“系統(tǒng)集成商”。

它掌握的核心技術(shù)其實(shí)不到10%，剩下的全靠兄弟幫襯：美國提供雷射光源，德國提供鏡頭與傳感器，日本提供精密化學(xué)材料，瑞士提供機(jī)械臂。

所以說，連美國這種技術(shù)家底都帶不動全場，要求中國在短時間內(nèi)靠“單打獨(dú)斗”復(fù)刻出一套完整的全球頂級鏈條，這在科學(xué)規(guī)律上確實(shí)極其困難。

不過，看清差距不代表要舉手投降。朱士堯那盆冷水，核心用意是讓大家別浮躁，別覺得靠喊兩句口號芯片就能從地里長出來。中國半導(dǎo)體選了一條更韌性的突圍路徑：先吃透中端市場，把地基打牢。

現(xiàn)在，國內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)已經(jīng)挺過了最難的“斷奶期”。上海微電子等中堅(jiān)力量已經(jīng)跨越了死亡之谷。就成熟制程來說，90納米設(shè)備早已大規(guī)模應(yīng)用，28納米的國產(chǎn)設(shè)備也正在晶圓廠里進(jìn)行高強(qiáng)度的工藝打磨。

在最頂尖的戰(zhàn)場上，中國工程師展現(xiàn)了極強(qiáng)的生存智慧。大家通過系統(tǒng)設(shè)計優(yōu)化以及多重曝光技術(shù)，硬生生地壓榨出現(xiàn)有DUV設(shè)備的潛能。

這種做法確保了國產(chǎn)AI芯片的產(chǎn)能沒有斷供。像福晶科技這樣的公司，本身就已經(jīng)打入了全球雷射晶體供應(yīng)鏈。咱們正通過這種“螞蟻啃骨頭”的方式，一磚一瓦地修筑自己的長城。

當(dāng)大門被別人從外面鎖死，屋里的人只能自己動手豐衣足食。這場重塑產(chǎn)業(yè)鏈的工程，規(guī)模堪比當(dāng)年的兩彈一星。

2025年底到2026年初，好消息開始密集傳出。在深圳的實(shí)驗(yàn)室里，由國家隊(duì)統(tǒng)籌的國產(chǎn)EUV原型機(jī)已經(jīng)成功啟動。哈爾濱工業(yè)大學(xué)在極紫外光源上的突破，意味著咱們親手點(diǎn)亮了屬于自己的那盞燈。

雖然從原型機(jī)到大規(guī)模量產(chǎn)還有很長的路要走，但“從無到有”的這一步已經(jīng)邁出去了。咱們正同步測試好幾條技術(shù)路線，甚至在物理機(jī)制上嘗試?yán)@過西方的老路，這就是為了防備在別人的規(guī)則里永遠(yuǎn)跑不贏。

歷史證明，物理極限是用來突破的，而封鎖只會讓對手變得更強(qiáng)大。朱士堯的直言更像是一聲警鐘，提醒大家要敬畏科學(xué)，別指望一步登天。

阿斯麥的霸主地位固然穩(wěn)固，但沒有哪座堡壘是永遠(yuǎn)攻不破的。當(dāng)全球分工被政治力量強(qiáng)行扭斷，中國這條巨龍沒有退路，只能硬生生把自己磨煉成一條完整的產(chǎn)業(yè)鏈。

這種博弈已經(jīng)進(jìn)入了最深水的階段。面對國產(chǎn)設(shè)備在光源、鏡頭上的多點(diǎn)開花，先進(jìn)封裝技術(shù)或許會成為咱們彎道超車的另一張底牌。通過把多顆芯片堆疊封裝，以此彌補(bǔ)光刻制程的不足，這條路子現(xiàn)在看來越走越寬。