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朱士堯的職業歷程
1944年10月朱士堯出生在上海嘉定,早年接受教育后1963年考入中國科學技術大學北京校區,專業方向是核反應堆工程,1968年畢業。
1973年起在中科大近代物理系教書并搞研究,主要領域是等離子體物理和受控核聚變,期間寫了不少論文,還出過三本書,比如1992年中國科學技術大學出版社出的《核聚變原理》,現在還是這個專業博士生考試的參考書。1983年他被派到美國威斯康星大學麥迪遜分校當訪問學者,待了快三年。
1995年又去荷蘭科學院做訪問教授,合作研究一年半。1997年起他當上中科大研究生院副院長,管研究生教育。2005年3月從中科大退休后,轉到華為公司,一直干到2014年底。在華為十年,他講了上千場關于公司文化的課,包括用英文給海外員工講,覆蓋50多個國家。
退休后,他還關注科技話題,偶爾在論壇分享看法。他曾在訪談里說光刻機這東西,美國也搞不定,中國更別想單干,這話一出就炸鍋了。其實他想說的是,這玩意兒太復雜,得靠全球分工,不是一家一國能包圓的。
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光刻機背后的國際分工
光刻機這東西,尤其是高端的EUV機,一臺得賣2億歐元,折合人民幣15億,還得排隊兩年。ASML是老大,但他們自己也承認,核心技術不到10%,其余90%靠全球5000多家供應商拼湊。
光源是心臟,得產生13.5納米極紫外光,用激光轟錫滴,每秒5萬滴,直徑30微米。ASML 2013年花25億美元買了美國Cymer公司,管光源,但主脈沖激光還得靠德國通快,一臺幾千萬歐元,獨家供貨。
光學系統用11面鏡子,極紫外光真空傳播,每面鏡子反射率70%,表面粗糙度0.1納米,只有德國蔡司行,從1990年代合作,到2012年才出首套量產鏡組,ASML后來投10億歐元買了蔡司24.9%股份。工件臺真空里6倍音速動,精度0.5納米,馬達傳感器德國貨。
2010年ASML搞客戶投資計劃,英特爾、三星、臺灣地區臺積電投50多億歐元,換優先權,用來綁供應商,形成美德荷鐵三角。朱士堯的話核心就是這個,ASML都得靠全球協作,單國想獨干頂尖光刻機不現實。
美國也一樣,蔡司鏡子、通快激光他們造不出,得進口,錫滴技術還得德國幫忙。不是否定中國,而是提醒別情緒化,得尊重規律。
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中國在光刻機領域的實際進展
中國沒從頭死磕EUV,先從中低端DUV起步。上海微電子是主力,專注前道光刻機,90nm機型已規模生產,年賣50多臺,國內份額超80%。2025年5月,他們交付首臺28nm浸沒式DUV,批量后良率95%,用在汽車電子、消費電子芯片上。
在特色工藝上,他們是隱形冠軍,先進封裝光刻機全球占37%,國內85%;LED系列全球超50%。2025年底,以1.1億中標政府項目,推出SSC800/10型,填補國產這類機型空白。
EUV難點在壟斷部件,光刻膠日本JSR、信越化學把控,國產28nm ArF光刻膠剛量產,良率超90%。但中國沒閑著,哈爾濱工大破了13.5nm EUV光源,福晶科技激光晶體全球占60%,還供ASML。上海微電子擴產計劃已批,產業化在提速。
2025年,中國半導體設備國產化率從2018年4%升到13%,預計2025年破20%。中微公司Primo Twin-Star刻蝕機精度0.2埃,山東艾恩碳化硅離子注入機把國產率從8%提至15%。市場數據,2025年二季度中國大陸半導體設備銷售額113.6億美元,占全球34.4%。
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光刻機不是國與國的競賽,而是全球供應鏈的協作。中國現在做的,就是在體系里一步步拆核心壟斷。
像光源、光刻膠這些,短期難全破,但方向對,步子穩,就能往前。那些說中國造不出的,可能忽略了美國也依賴進口的事實。
總之,這事得腳踏實地,別急躁,中國會造出自己的頂尖光刻機。
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