號稱“上帝之眼”的蔡司，曾經給美國提供不合格的鏡頭，將美國的光刻機產業直接帶進了墳墓

散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

01

前沿導讀

德國蔡司是ASML光刻機的獨家鏡頭供應商，也是全球唯一一家可以制造EUV光刻機鏡組的廠商。由于其出色的技術水平和制造工藝，蔡司也被國際產業稱之為“上帝之眼”。

其涉及的產品眾多，小到眼鏡片、照相機鏡頭、顯微鏡鏡頭，大到工業CT鏡頭、光刻機鏡頭，蔡司這個公司已經成為了全球領先光學技術的代名詞。

雖然現在的蔡司如日中天，但是當年的蔡司卻遠沒有如今這么強大。甚至當年蔡司給美國廠商提供的光刻機鏡頭，成為了美國光刻機產業快速消亡的罪魁禍首。

02

美日光刻機大戰

在ASML發展的初期，由于其名聲小、產品需求量少，很多供應商都在拒絕ASML的合作請求。

ASML母公司飛利浦旗下的物理實驗室，在法國設有技術分支，其技術核心是法國的CERCO公司。該公司專精于制造高水平光學鏡頭的制造商，在母公司的推動下，ASML的PAS系列光刻機開始采用CERCO公司提供的鏡頭。

彼時的國際光刻機市場，仍處于美日兩國企業爭奪天下的時期。美國的GCA與日本的尼康，雙方在光刻機領域展開了激烈的技術火拼。

GCA已經與蔡司達成合作，而尼康本身就是傳統光學技術起家，可以為自己的光刻機提供鏡頭。看似雙方的實力不相上下，實際上美國GCA與蔡司的合作正處于內亂的邊緣。

購買GCA光刻機的芯片廠商發現光刻機有問題，在制造的過程中會出現大量無法使用的晶圓，GCA就此與蔡司進行爭論。蔡司堅持認為自己的鏡頭沒問題，是GCA的光刻機設計落后，導致產品出現問題，GCA必須對產品重新設計修改。

而GCA也對蔡司進行反駁，聲稱蔡司的鏡頭在交付之后有著明顯質量下降的情況，是蔡司的問題，要求蔡司檢查鏡頭。雙方就這個問題爆發爭論，誰也不肯低頭。

GCA與蔡司的爭吵，也讓ASML躍躍欲試。法國CERCO公司為ASML提供的鏡頭遲遲滿足不了大規模制造的要求，ASML便將目光放在了蔡司身上。

飛利浦物理實驗室的技術專家范希克，曾經就彼此之間的合作問題求見蔡司數學部門負責人格拉策爾。經過30分鐘的會談，格拉策爾的最終回復很簡單，蔡司不會給飛利浦旗下的公司制造鏡頭。

彼時的美國GCA公司還有一個最致命的問題，那就是不重視客戶的反饋。依靠自己在光刻機領域的絕對領先地位，GCA擁有著極高的市場話語權，其公司管理層也越來越傲慢無禮。而日本的尼康和佳能，則是特別注重客戶意見，并且愿意聽從客戶的意見來優化產品。

1979年，美國惠普公司公開炮轟美國本土光刻機企業的狂妄自大，并且惠普還在報告中大肆表揚日本企業的光刻機產品，稱其質量好的難以置信。

尼康憑借著與客戶深度交流、傾聽客戶意見，其制造的光刻機銷量越來越好。

1982年，尼康從美國硅谷建立了分公司，搶奪美國GCA的客戶群體。GCA的營收在這一年中下降了50%，許多美國的芯片工廠都優先選擇購買尼康的光刻機，狂妄自大的GCA開始走向沒落。

03

美國光刻機的黃昏

ASML首位CEO賈特·斯密特在領導公司的過程中，將客戶意見放在了產品制造的第一位，并表示客戶的愿望就是他對手下工程師的命令。

而且ASML還有一個獨家的技術手段——超高精度的光刻機對準系統，這個技術是ASML獨有的，GCA和尼康均沒有涉足，這個技術成為了ASML與蔡司合作的關鍵。

1984年，ASML的技術員馬丁·范登布林克在與蔡司的會面當中，建議其提前檢查供應給美國GCA的光刻機鏡頭，但是蔡司并沒有聽他的意見。

蔡司認為檢查鏡頭就是浪費時間的行為，畢竟蔡司向GCA交付了上百臺鏡頭，沒有一個被退回，責任肯定在GCA身上。

馬丁的個人實力很強，他給蔡司提的建議都是從技術角度進行分析，非常有用。并且他在后來還擔任了ASML首席技術官，領導團隊開發出了浸潤式DUV和EUV光刻機。但當時的蔡司心高氣傲，壓根沒有把他當回事。

在隨后的幾年里，GCA給蔡司退回來了大量光刻機鏡頭。蔡司對其進行技術調查，終于發現了問題。

蔡司使用柔性密封劑將玻璃透鏡黏附到金屬支架上，但是密封劑對于水分和溫度特別敏感，受熱會產生膨脹，緊接著玻璃透鏡就會出現了漂移的情況。這種設計剛開始使用的時候一切正常，可一旦長時間使用，機器內部的溫度變高，透鏡就會出現漂移，從而大幅度降低成像質量。

在這種情況下，尼康是競爭對手，蔡司不會跟其合作解決問題。就算想合作，對方也不同意，甚至還會懷疑蔡司是過來探取技術的。思來想去，只有跟ASML合作這一條路可選。

ASML母公司飛利浦旗下的制造技術中心對蔡司伸出援手，維爾澤爾與科斯特兩位技術人員選擇用鉸鏈固定以及玻璃與金屬膠接的方法，解決了透鏡漂移的問題。

在此之前，蔡司拒絕與ASML的任何技術合作。但是經過這次事件，雙方的關系得到了進一步的加深，也為后來蔡司入股ASML，幫助ASML制造獨家光刻機鏡頭埋下伏筆。

GCA因為蔡司鏡頭的問題，市場口碑出現大面積崩盤。不管是美國芯片工廠還是其他國家的芯片工廠，均選擇購買日本的光刻機，或者是荷蘭ASML的光刻機，美國的光刻機成為了燙手山芋。

隨著產業競爭的不斷升級，GCA的光刻機業務被美國硅谷集團收購。彼時的光刻機市場成為了尼康與ASML相互競爭的局面，其他競爭對手要么被大企業收購之后轉型其他業務，要么就是面臨倒閉的邊緣。

2001年，ASML正式收購了美國硅谷集團，將美國的光刻機技術納入麾下。至此，美國本土企業徹底退出了光刻機產業的競爭。

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