全球首個納米級微振動實驗室投運

　　記者1日從國投集團所屬中國電子工程設(shè)計院股份有限公司（以下簡稱“中國電子院”）獲悉，全球首個納米級微振動實驗室日前在河北雄安新區(qū)正式投運。這是國投集團在先進電子制造領(lǐng)域布局打造的國家級科技創(chuàng)新平臺。

　　“納米級微振動實驗室將全面服務于半導體制造、航空航天、精密儀器、生物醫(yī)藥等重點領(lǐng)域，推動我國高精密制造‘軟實力’與‘硬裝備’協(xié)同提升。”中國電子院首席技術(shù)官楊光明介紹，該實驗室核心裝置為我國自主研發(fā)的全球尺寸最大、精度最高的微振動模擬實驗臺。

　　據(jù)悉，實驗臺平面尺寸達4米×4米，臺體自重約50噸，設(shè)計承載能力高達20噸，振動精度突破納米級，最小振動幅值遠低于地球自身脈動，可全面滿足大型半導體設(shè)備整機及衛(wèi)星全尺寸載荷的上臺測試需求。

　　實驗臺采用中國電子院自主研發(fā)的空氣彈簧主動隔振系統(tǒng)，可高效隔離地基及建筑結(jié)構(gòu)的環(huán)境振動干擾，在臺面上構(gòu)建超純凈微振動環(huán)境。實驗臺配套高精度直線電機作動器，可在寬頻率范圍內(nèi)，實現(xiàn)0.001伽至5伽的加速度精密輸出，能夠精準模擬極微弱背景環(huán)境振動，全面覆蓋電子信息、航空航天等核心領(lǐng)域應用的全頻段、全幅值區(qū)間。

　　同時，實驗臺具備正弦波、隨機波、掃頻波等豐富波形模擬能力，可實現(xiàn)單方向精確模擬與三方向同步模擬。其不僅能開展特定頻率的精細化分析，也可還原復雜真實環(huán)境下多自由度耦合的隨機振動場景，為科研攻關(guān)與裝備驗證提供了高度貼合實際工況、靈活可控的實驗條件。

　　“納米級微振動實驗室的建成投用，打通了我國多個戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的實驗驗證堵點。”楊光明說，該實驗室填補了我國在微振動試驗方法、精密設(shè)備振動容許標準、隔振裝置評價體系等多個環(huán)節(jié)的技術(shù)與市場空白，為我國電子制程、空天信息等領(lǐng)域高端裝備自主研發(fā)提供了關(guān)鍵基礎(chǔ)支撐。（記者劉園園）

來源：科技日報