90%的光刻膠被日本壟斷,如果他們斷供,我們該怎么辦?
買過光刻機的朋友都知道,光刻膠非常重要。
哪怕沒有最先進的EUV光刻機,DUV光刻機也行,再不濟使用二手的都行。
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但是沒有光刻膠的話就慘了,不管你是什么光刻機,都工作不了。
而且光刻膠的保質期就幾個月。
想靠囤貨根本不行,最后都爛到家里了。
更可怕的是,全球光刻膠市場,90%以上的份額都被日本壟斷。
光刻膠,顧名思義就是一種膠水,但這種膠水可不一般,它是一種特殊的感光材料。
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在硅片上均勻涂抹一層光刻膠,然后用光透過掩膜版去照射它,被光照到的地方會發生變化。
之后再進行一系列的蝕刻清洗工作,掩膜版上的電路圖案就會轉移到硅片上。
在芯片制造的整個流程中,光刻工藝占到了40%-50%的時間。
就算是非常牛X的EUV光刻機,沒有相應的光刻膠,最后精度也達不到要求。
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韓國三星集團CEO就曾表示:“如果光刻機缺少了光刻膠,那么光刻機就是一堆廢鐵。”
光刻膠根據曝光波長不同,分為g譜線、i譜線、KrF、ArF和EUV五代。
制程越先進,波長越短,就越能實現更精細的電路圖案。
而在高端光刻膠方面,目前主要由日本公司壟斷。
比如日本東京應化,JSR,住友化學,信越化學等企業,他們掌握了全球半導體光刻膠市場90%左右的份額。
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在半導體材料方面,前段工序常用的材料一共19種。
其中14種都由日本企業主導。
不同制程的光刻機,對應著不同波長的光線,就得使用不同種類的光刻膠。
再加上光刻膠的保質期只有6個月,靠囤貨肯定是不行的。
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2019年日韓貿易爭端,日本突然宣布對出口韓國的三種關鍵半導體材料實施管制,其中就包括光刻膠,結果導致三星的芯片良率只有10%~20%,狗見了都搖頭。
那如果日本對我們斷供光刻膠,影響有多大?
據2024年中國光刻膠市場規模數據顯示,國產化率不足5%,即絕大部分依賴進口,而進口部分中日本占比超過一半。
2023年中國從日本進口感光化學品(光刻膠為主)占比約50–54%。
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論復雜性,光刻膠肯定是比不上光刻機的,中國當然也能造。
此前就有公開資料顯示,在中端KrF光刻膠領域,國產化率正在飛速提升,預計2025年可達35%以上。
在使用國產光刻膠的情況下,南大光電等企業已實現28nm制程量產,芯片良率不輸于日本光刻膠。
至于ArF光刻膠,也有小批量驗證通過,部分進入頭部晶圓廠供應鏈。
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中國計劃2026年國產化率達40%,國家大基金第二期優先支持光刻膠等關鍵材料,頭部晶圓廠也主動驗證國產替代。
國內多家企業,比如容大感光、晶瑞電材、彤程新材等已實現從樹脂到成品的全鏈條自主,成本較進口低15%-20%。
雖然目前EUV光刻膠國內暫時處于空白,但至少能滿足絕大部分芯片需求。
再者,如果日本敢做初一,中國絕對有能力做十五。
因為日本光刻膠的原材料非常依賴中國。
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光刻膠的生產和儲存,以及半導體硅片的提煉,都離不開高純度石英砂。
而中國掌握了全球62%的高純石英砂供應。
沒有中國的石英砂,日本連盛放光刻膠的特種玻璃瓶都造不出來,更別提硅片生產用的石英坩堝了。
同時,日本芯片產業也高度依賴從中國進口的電子級氫氟酸、光引發劑中間體等原料。
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特種氟化物,中國占全球48%;光引發劑中間體,中國占全球55%。
至于鎵,鍺,鏑、鋱等半導體材料所需的稀土元素,還用多說么?
一旦中國切斷上游原材料供應,日本的光刻膠乃至整個半導體材料產業將面臨“無米下鍋”的絕境。
所以,中日半導體材料供應鏈,其實已經形成了“相互卡脖子”的局面。
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