前言
2024年一季度,ASML財報上出現讓管理層坐立難安的數字:對華銷售額占比從49%跌至27%。
兩任CEO連續警告:封鎖只會加速中國自主創新。
事實確實如此,中國造不成光刻機,但那就先造一個光刻工廠!
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光刻巨頭黃昏
2024年1月,荷蘭光刻機巨頭ASML的財報顯示了一個讓投資者震驚的數據:中國市場占比從連續三季度的46%、47%、47%突然跌至27%。
這個數字像一面鏡子,照出了這家全球光刻設備霸主的尷尬處境:一邊是美國持續施壓下的出口管制枷鎖,一邊是中國市場這塊不得不抓的"搖錢樹"。
新任CEO克里斯托夫·富凱上任后在《華爾街日報》采訪中直言不諱:"施加的限制越多,就越會促使對方自力更生。"
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這句話與其前任彼得·溫寧克的警告如出一轍。2023年初溫寧克就在財報會上敲過警鐘:"出口管制會促使中國成功開發出自己的技術。"
ASML的焦慮不是沒有道理。回溯到2023年,當出口封鎖的風聲剛透出來時,中國客戶立刻啟動"戰略性囤貨",短期內讓ASML的訂單量激增,但明眼人都看得出來,這不過是提前透支未來市場。
更讓ASML揪心的是其在中國的維護業務,數千臺已部署設備的定期保養和零部件更換,早已成為公司穩定的現金流來源。一旦連這些服務都被政治力量限制,ASML與中國市場最后的紐帶也將斷裂。
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溫寧克在2023年9月的行業論壇上說得很實在:"中國有足夠的人才,也有足夠資源找到替代方案。"
當時不少西方媒體還將其視為商業游說,直到清華大學的SSMB-EUV方案逐漸浮出水面,人們才意識到這位老CEO的預判有多精準。
2025年,ASML預計中國業務降到20%左右,但實際需求比預想強,第三季度中國占了42%。公司否認這是囤貨引起的,說是政策和宏觀需求的作用。
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這種對比讓ASML股價在2024年10月的一天直接大跌8.33%,270億美元市值憑空蒸發。
富凱后來講,中國落后先進技術10-15年,但成熟節點需求穩得一批,短期內ASML還得靠中國吃飯。
管制越嚴,中國客戶囤貨越猛,ASML表面風光,內部其實捏把汗,怕哪天連備件和服務都卡死,那才是真斷糧。
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封鎖反作用
2021年2月,清華大學唐傳祥教授團隊在《自然》期刊發表了一篇論文,題目是"穩態微聚束原理的實驗演示",這項成果為EUV光刻提供了全新可能。
雜志評論稱其"結合了同步輻射光源與自由電子激光的雙重特性",這個看似高深的學術成果,背后有著深刻的現實背景。
傳統EUV光刻機之所以被稱為"人類工業皇冠上的明珠",核心卡在極端小型化的光源系統上。ASML用了幾十年時間,整合了全球供應鏈的頂尖技術才實現商業化,其光源系統涉及數萬零部件的精密集成,專利壁壘密不透風。
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中國要走同樣的路,無異于從零開始跟跑幾十年,這顯然不現實。但中國人的智慧恰恰在于不按常理出牌——既然造不出"光刻機",那就直接建"光刻工廠"。
清華大學牽頭的SSMB-EUV方案,正是這條獨特路徑的核心。這個2017年就啟動的項目,背后有著國際合作的基因。當年7月,清華教授唐傳祥與斯坦福大學趙午組織首屆SSMB合作會議,聯合中、德、美等國科研人員攻關。
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由于實驗對電子束控制精度要求極高,團隊先后8次前往柏林,利用德國PTB的MLS儲存環開展研究。2019年8月,實驗取得關鍵突破:用1064納米激光操控電子束,讓其在48米周長的儲存環內繞圈后形成精微的微聚束結構。
真正讓業界震動的是2022年的進展——SSMB-EUV光源輸出功率突破1千瓦,光學腔穩定鎖定時間超過4小時。這兩個關鍵指標意味著"光刻工廠"從概念走向現實有了基礎技術支撐。
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這種"重資產、高產能"的模式,恰恰契合了中國在特高壓、高鐵等領域證明過的系統集成能力。就像當年建設高鐵網絡時那樣,中國不追求每個零部件都從零研發,而是在關鍵環節集中突破,再通過系統集成形成整體優勢。
唐傳祥教授在接受采訪時謹慎表示:"EUV光刻機的自主研發還有很長的路要走,但SSMB光源為突破核心瓶頸提供了全新思路。"
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這種謹慎背后是清醒的認知——光刻工廠確實面臨挑戰,巨額的初始投資、漫長的建設周期、對運營模式的嚴格要求,都考驗著中國的產業耐力。
但這些挑戰在國家戰略需求面前,反而成了發揮制度優勢的舞臺。國家層面,今年2月11日,中國投370億歐元,支持本土極紫外光刻系統開發。
系統計劃2025年第三季度試生產,2026年批量制造。華為在東莞測試部件,結合自研芯片推進。
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模式超越
與ASML的EUV光刻機不同,SSMB方案不是把復雜系統壓縮到一臺機器里,而是通過大型加速器設施產生穩定的極紫外光,用規模化、集中化的思路解決光源難題。
今年7月,清華大學在極紫外光刻膠材料聚碲酮上取得新突破,補上了產業鏈中的又一塊短板。這一進展讓整個方案的商業化前景更加明朗。
整個思路就是把最難的光源部分集中解決,下游曝光站簡單多了,成本降一大截,還適合中國搞大基地的那套工程化打法。
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從成本對比看,ASML一臺EUV光刻機要1.2億美元,維護一次就得幾百萬。而光刻工廠是"流水線作業",把曝光、顯影等步驟整合在一起,連續生產,紹興的配套項目投產后,批量生產能大幅降低成本,適合大規模制造。
更重要的是,ASML的光源功率已經快到極限了,再提升難度極大。而SSMB技術的光源,波長能覆蓋到極紫外波段,光強還能提升,未來造更先進的芯片也有空間。
這就好比傳統光刻機是"手動擋",光刻工廠是"自動擋",越往后優勢越明顯。我們的光刻工廠,核心技術是自己的,配套設備也在國產化。
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產業鏈正在協同推進,比如光刻膠,以前高端產品全靠進口,現在湖北有家公司的ArF/KrF光刻膠已經通過評估,拿到了晶圓廠訂單,實現了全流程國產化。
恒坤新材更厲害,募資15億建生產基地,它的KrF光刻膠已經批量供應12英寸產線,能覆蓋7nm工藝,2025年底產能就能到500噸/年。
設備方面,上海微電子的600系列光刻機,已經實現90nm工藝批量生產,打破了國外限制。2024年9月,他們還公布了極紫外光刻設備的發明專利,說明在EUV技術上也沒掉隊。
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芯片制造端,中芯國際2025年3月17日官宣,FinFET第一代技術已經量產。這些突破和光刻工廠相互配合,形成了完整的產業閉環。
整個產業鏈2000多家企業抱團,成本能壓到ASML六成左右。國家層面把這當重大基礎設施推,選址雄安之類的地方,目標就是千瓦級裝置。
格局重塑
ASML新任CEO富凱現在面臨著比溫寧克更棘手的局面。美國不僅要求限制設備出口,還試圖干預在華設備的維修服務。富凱無奈地指出:"如果我們不在那里,我們就會失去控制。"
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這種失控感正在變成現實——當中國客戶不再依賴ASML的設備和服務,當光刻工廠開始穩定輸出極紫外光,全球半導體產業的格局將被重新定義。
ASML的焦慮本質上是所有依賴中國市場的西方高科技企業的縮影:政治力量強行切斷商業紐帶,最終只會倒逼被封鎖者走出一條更具韌性的道路。
從溫寧克2023年的警告到富凱2024年的焦慮,ASML的態度轉變折射出一個簡單的事實:在高科技領域,封鎖從來不是長久之計。
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中國沒有選擇復制ASML的技術路線,而是用自己擅長的系統工程思維另辟蹊徑。光刻工廠的建設過程或許充滿挑戰,但它承載的不僅是打破技術封鎖的希望,更是一種產業發展模式的創新。
當ASML還在政治與市場之間艱難平衡時,中國的科研團隊已經在雄安的土地上埋下了突破的種子。這場較量的結局或許還需要時間驗證,但有一點已經清晰——試圖用限制來遏制創新,最終只會加速被超越的進程。
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10月15日,ASML報告凈銷售75億歐元,全年預計增長15%,靠先進芯片和AI投資頂著,但中國部分會顯著下滑,到2026年更明顯。
富凱2025年講,中國需求比預期強,但2026年肯定大降,因為客戶把能買的都買完了,再加上管制越收越緊。
短期ASML還賺服務錢,長期呢,中國這條集中式工廠一旦跑通,先進芯片生產就從"買機器"變成"建電站",規則全變了。
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ASML壟斷單機模式的日子,怕是要到頭了。說白了,封鎖把路堵死,反而逼出新路子。
中國不硬抄ASML老路,玩系統工程這一套,接地氣又狠。2025年這些樣機、測試、參數圖一出來,ASML股價波動得厲害,高層講話也越來越謹慎。
巨頭慌不慌?數據擺在那,中國市場占比從36%掉到20%,服務還能撐多久,誰也不知道。反正半導體這盤棋,現在越來越有意思了。
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結語
從單機追趕到工廠超越,中國的成功證明了模式創新的力量。
未來全球科技競爭將呈現多元化格局,開放合作優于封閉對抗。
在你看來,還有哪些領域可以通過模式創新實現跨越式發展?
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