荷蘭芯片觀察者：中國(guó)企業(yè)已經(jīng)具備了比肩ASML的能力，正在為突破光刻機(jī)的封鎖持續(xù)積累經(jīng)驗(yàn)

散英魂寄千萬(wàn)雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

01

前沿導(dǎo)讀

荷蘭半導(dǎo)體觀察者、《新鹿特丹商報(bào)》科技專(zhuān)欄記者馬克·海金克在接受觀察者網(wǎng)采訪(fǎng)時(shí)表示：

中國(guó)區(qū)業(yè)務(wù)對(duì)ASML來(lái)說(shuō)非常重要，美國(guó)的持續(xù)出口限制，損害了ASML的經(jīng)濟(jì)利益，不過(guò)我認(rèn)為ASML最擔(dān)憂(yōu)的壓根就不是經(jīng)濟(jì)上面的損失，而是中國(guó)本土競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的崛起。

中國(guó)空缺出來(lái)的光刻機(jī)市場(chǎng)，將會(huì)被中國(guó)本土企業(yè)接手，盡管中國(guó)企業(yè)的設(shè)備沒(méi)有ASML那么頂尖，但是中國(guó)企業(yè)可以在發(fā)展中持續(xù)積累經(jīng)驗(yàn)，這是至關(guān)重要的一方面，而且中國(guó)企業(yè)還會(huì)獲得更多的資金來(lái)打造國(guó)產(chǎn)設(shè)備。

在開(kāi)發(fā)先進(jìn)的國(guó)產(chǎn)DUV光刻機(jī)上面，中國(guó)企業(yè)已經(jīng)取得了顯著的技術(shù)進(jìn)步，但距離大規(guī)模應(yīng)用還有一段時(shí)間，未來(lái)的中國(guó)芯片會(huì)變得越來(lái)越自立自強(qiáng)。

參考資料： 馬克·海金克：獨(dú)家對(duì)話(huà)|“對(duì)于中國(guó)市場(chǎng)，這才是阿斯麥的主要擔(dān)憂(yōu)” https://www.guancha.cn/xinzhiguanchasuo/2024_11_05_754180.shtml

02

產(chǎn)業(yè)短板

在談?wù)摰街袊?guó)在開(kāi)發(fā)自主光刻機(jī)上所暴露出來(lái)的問(wèn)題時(shí)，海金克指出：

ASML能成功，核心因素是這個(gè)公司只專(zhuān)注于制造光刻機(jī)這一件事，并且為了這一件事積累了40多年的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，這種極高的專(zhuān)注力造就了ASML如今的光刻機(jī)統(tǒng)治者地位。并且ASML的光刻機(jī)遍布全球晶圓廠(chǎng)，這些國(guó)際客戶(hù)為ASML貢獻(xiàn)了大量使用數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)讓ASML不斷優(yōu)化產(chǎn)品。

將目光放在中國(guó)企業(yè)身上，中國(guó)本土晶圓廠(chǎng)一直都是以采購(gòu)ASML的設(shè)備為主，ASML的設(shè)備技術(shù)成熟，效率高，可以大批量制造特定的芯片產(chǎn)品。

據(jù)ASML官方財(cái)報(bào)顯示，2024年以及2025年ASML的中國(guó)區(qū)業(yè)務(wù)依然強(qiáng)勁，甚至在2024年第三季度，中國(guó)市場(chǎng)為ASML貢獻(xiàn)了總營(yíng)收的48%，是ASML的國(guó)際第一大客戶(hù)市場(chǎng)。雖然中國(guó)對(duì)進(jìn)口光刻機(jī)的需求一直居高不下，但中國(guó)本土的自主技術(shù)也在持續(xù)推動(dòng)。

EUV光刻機(jī)被持續(xù)封鎖，中國(guó)企業(yè)只能用所持有的ASML DUV光刻機(jī)去制造先進(jìn)芯片。盡管這種方法的經(jīng)濟(jì)性較差，但確實(shí)可以解決先進(jìn)芯片的短缺問(wèn)題。

美國(guó)的出口管制，讓中國(guó)企業(yè)被迫走上自立自強(qiáng)的技術(shù)道路。采購(gòu)ASML的設(shè)備并不是長(zhǎng)久的打算，打造國(guó)產(chǎn)技術(shù)的先進(jìn)光刻機(jī)是中國(guó)企業(yè)的最終目標(biāo)。

中國(guó)企業(yè)制造了全球?qū)⒔种坏膫鹘y(tǒng)成熟芯片，是成熟芯片的全球第一大供應(yīng)商。采購(gòu)ASML的光刻機(jī)使用，一方面可以保證成熟芯片的產(chǎn)能，為全球產(chǎn)業(yè)提供基礎(chǔ)芯片，另一方面也可以在使用ASML光刻機(jī)的過(guò)程中逐步學(xué)習(xí)技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。

ASML的某些設(shè)備被禁止運(yùn)送到中國(guó)市場(chǎng)上，而中國(guó)企業(yè)采購(gòu)設(shè)備所預(yù)留的資金，也自然而然的放在了本土企業(yè)身上，推動(dòng)自主技術(shù)發(fā)展。

現(xiàn)在的中國(guó)企業(yè)已經(jīng)具備了在光刻機(jī)研發(fā)上面的專(zhuān)注性、清晰的技術(shù)路線(xiàn)以及充裕的資源投入，構(gòu)建出一條屬于中國(guó)技術(shù)的產(chǎn)業(yè)模式。

03

產(chǎn)業(yè)融合

在ASML創(chuàng)立的時(shí)候，全球范圍內(nèi)有多個(gè)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)者，其中包括了美國(guó)GCA、珀金埃爾默、日本的佳能、尼康等企業(yè)。但是在隨后的競(jìng)爭(zhēng)當(dāng)中，ASML打敗了所有人，成為了該產(chǎn)業(yè)唯一的贏家。

其成功的因素一方面是與國(guó)際產(chǎn)業(yè)的深度合作，其中包括了加入美國(guó)EUV LLC技術(shù)聯(lián)盟、收購(gòu)美國(guó)硅谷集團(tuán)、收購(gòu)美國(guó)西盟公司、出售股權(quán)換取蔡司入股等政策。另一方面就是ASML堅(jiān)持技術(shù)研發(fā)，通過(guò)后續(xù)的力量反超競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。

中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)，與當(dāng)年ASML的產(chǎn)業(yè)路線(xiàn)如出一轍。

根據(jù)清華大學(xué)與長(zhǎng)春光機(jī)所發(fā)布的官方新聞表示，2016年，清華大學(xué)通過(guò)了光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)的研發(fā)項(xiàng)目驗(yàn)證，長(zhǎng)春光機(jī)所也在這一年中通過(guò)了極紫外光刻原理裝置的驗(yàn)證。

該技術(shù)裝置由長(zhǎng)春、成都、上海三家光機(jī)所參與研發(fā)，中科院微電子所、北京理工大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)等高校聯(lián)合進(jìn)行技術(shù)攻堅(jiān)，預(yù)計(jì)最快到十五五規(guī)劃結(jié)束的2030年，實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)整機(jī)的國(guó)產(chǎn)化制造。

參考資料： 綜合新聞----中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 http://www.ciomp.ac.cn/xwdt/zhxw/201611/t20161130_4713258.html

早在2008年的時(shí)候，我國(guó)就將DUV以及EUV光刻技術(shù)列入“32-22nm裝備技術(shù)前瞻性研究”的重點(diǎn)推進(jìn)項(xiàng)目。當(dāng)時(shí)已經(jīng)量產(chǎn)商用的國(guó)際光刻機(jī)技術(shù)為干式技術(shù)，先進(jìn)的浸潤(rùn)式和EUV均還處于技術(shù)開(kāi)發(fā)階段。

參考資料： 媒體長(zhǎng)光----中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 http://ciomp.cas.cn/mtcg/201707/t20170711_7929605.html

從技術(shù)立項(xiàng)的時(shí)間來(lái)看，我國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)與國(guó)際水平并駕齊驅(qū)。但ASML聚集了歐美、亞洲地區(qū)的技術(shù)資源，背后還有美國(guó)資本的推動(dòng)，率先完成了浸潤(rùn)式技術(shù)和極紫外技術(shù)的開(kāi)發(fā)，成為了行業(yè)領(lǐng)先者。

擁有了技術(shù)優(yōu)勢(shì)，ASML將先進(jìn)的光刻機(jī)推向市場(chǎng)。從商業(yè)角度來(lái)說(shuō)，相對(duì)于花費(fèi)大量資源自主研發(fā)，直接采購(gòu)ASML設(shè)備是最穩(wěn)妥的選擇，這也極大減緩了中國(guó)自主光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)度。

在美國(guó)實(shí)施出口管制之后，切斷了中國(guó)與國(guó)際產(chǎn)業(yè)鏈的合作，迫使中國(guó)企業(yè)將目光重點(diǎn)放在了自主技術(shù)的開(kāi)發(fā)上。在大環(huán)境的推動(dòng)下，逐步走向自立自強(qiáng)。

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