央視做了一期節目,頭一回把全球最強光刻機High-NA EUV的真實畫面端到了國內觀眾跟前,再次打破西方技術封鎖。
單臺售價約3.5億歐元,換算成人民幣差不多27億,整機重量超過150噸,拆開了得裝250個貨箱,到了工廠以后250名工程師連軸轉六個月才裝得好。
而幾乎就在央視曝光的同一個時間窗口,美國出了個大動作。
2026年4月2日,美國參眾兩院聯合端出了《MATCH法案》,目標很明確,就是要把對中國大陸的芯片設備封鎖從高端制程往成熟制程全面鋪開。
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先聊聊這臺機器到底憑什么值這個價。High-NA EUV采用了0.55數值孔徑的光學系統,臨界尺寸能做到8納米,是目前全球唯一有能力量產2納米及以下制程芯片的設備。
全世界能造它的只有荷蘭ASML一家,別無分號。它的單機功耗超過1兆瓦,光是為了接納這臺機器,晶圓廠就得先花大約2億美元改造供電系統和廠房基礎設施。
裝完之后還沒完,校準工作又要3到6個月,精度得達到飛米級別,也就是比一個原子還小的尺度。從出廠到真正投入量產,前前后后將近一年。
買得起只是入門。ASML每年收取的服務費大約占設備售價的15%到20%,算下來一年光維保就要幾千萬美元。如果良率上不去、產量跑不滿,這臺機器就不是印鈔機,而是碎鈔機。
所以你會看到一個很有意思的現象:臺積電雖然是全球代工龍頭,但對這臺設備的態度出奇地冷靜。臺積電預計今年內接收首批High-NA EUV設備,可實際量產部署可能要等到2029年甚至2030年以后的1納米工藝節點才會真正上線。他們寧愿多用幾步傳統EUV多重曝光來過渡,也不急著把這臺"金疙瘩"推上產線。
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相比之下,英特爾的動作就激進得多。
早在2025年12月,英特爾率先部署了全球首臺商用High-NA EUV光刻系統,型號是ASML Twinscan EXE:5200B。
三星也緊跟其后,在2025年底收到了第一臺同型號設備,今年上半年還要再進一臺。ASML自己的預期是2026年出貨5到10臺,2028年年產量提到20臺以上,到2030年這條業務線可能貢獻200億到250億歐元的營收。
然而對中國大陸來說,這臺機器目前就是櫥窗里的蛋糕,看得見摸不著。
ASML從來沒獲準向中國大陸出售過任何一臺EUV設備,不管是上一代還是這一代。而《MATCH法案》的出臺,更是把封鎖線往前推了一大步。這個法案不光盯著EUV,連DUV光刻機、刻蝕機這些成熟制程設備都要納進來。
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法案點名了華為、中芯國際、長江存儲、長鑫存儲、華虹半導體五家核心企業,對它們實施近乎全面的先進晶圓制造設備出口禁令,而且覆蓋了設備全生命周期的交易、使用、轉售和維護。
過去那種只盯著具體工廠而不管企業主體的執行漏洞,這回被堵得嚴嚴實實。
更狠的是,法案要求荷蘭、日本、韓國、德國等盟友在150天內把本國管制政策跟美國對齊,做不到就動用外國直接產品規則進行懲罰。
28納米這個節點,很多人覺得"不夠先進",但全球超過七成的芯片需求集中在成熟制程。汽車電子、工業控制、家電主控、物聯網終端,用的全是這一檔。上海微電子的28納米DUV光刻機已經通過中芯國際驗證,良率做到了90%,達到量產門檻。
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公司計劃在2025年底前建成5條量產線,年產能50臺,2026年目標市占率沖到25%。更值得一提的是,在多重曝光工藝加持下,28納米DUV設備可以間接實現14納米芯片量產,中芯國際已經用這套方案穩定出貨了。沒有EUV就造不了好芯片?這個論斷正在被事實一點點推翻。
真正讓業界興奮的還有光源領域的突破。
中科院上海光學精密機械研究所的團隊,由前ASML光源技術負責人林楠帶隊,選了一條跟ASML完全不同的路,用固態激光器替代二氧化碳激光器方案,做出了3.42%的最大轉換效率,超過了蘇黎世聯邦理工學院等歐洲頂尖機構的實驗紀錄。
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雖然跟ASML目前商用方案的5.5%轉換效率還有差距,但這條路的意義不在于馬上替代,而在于不受制于人。掌握了底層光源技術,后面的整機集成才不會被人掐著喉嚨。
差距我們看得清清楚楚,但被看見的差距才是能被追上的差距。
從28納米量產落地到固態EUV光源驗證成功,從多重曝光工藝繞路突圍到全產業鏈兩千多家企業協同攻關,每一步都不算快,但每一步都踩在實處。
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