高端裝備精度難突破？格藍(lán)若主動(dòng)減振+精密運(yùn)動(dòng)控制給出新答案|SEMICONChina2026

GLORYROAD

主動(dòng)減振

運(yùn)動(dòng)控制

格藍(lán)若亮相SEMICON China 2026

前言

SEMICON China 2026將于3月25日至27日在上海新國(guó)際博覽中心舉行，是全球半導(dǎo)體行業(yè)的重要展會(huì)之一。格藍(lán)若精密將攜十余款核心產(chǎn)品及多套行業(yè)應(yīng)用解決方案亮相，誠(chéng)邀您蒞臨展位，共話半導(dǎo)體“芯”機(jī)遇。

武漢格藍(lán)若精密技術(shù)有限公司作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體高端裝備分系統(tǒng)專業(yè)解決方案供應(yīng)商，始終致力于高性能主動(dòng)減振系統(tǒng)與精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的技術(shù)研發(fā)與創(chuàng)新應(yīng)用。本次重點(diǎn)展品涵蓋磁浮型、真空型、一體式平臺(tái)等主動(dòng)減振系列產(chǎn)品，以及納米精度運(yùn)動(dòng)控制、高性能通用型運(yùn)動(dòng)控制系列產(chǎn)品。相關(guān)成果廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、高端超精密裝備、精密加工機(jī)床、高端電鏡、航空航天等領(lǐng)域，性能指標(biāo)位于國(guó)際領(lǐng)先水平。

破解微振動(dòng)難題！

主動(dòng)減振技術(shù)如何撐起高端制造？

01

在半導(dǎo)體制造、顯微成像、精密光學(xué)裝備等高端前沿領(lǐng)域，環(huán)境微振動(dòng)已成為制約裝備精度提升的核心瓶頸。傳統(tǒng)被動(dòng)隔振技術(shù)難以應(yīng)對(duì)全頻段、多類型的振動(dòng)干擾，亟須具備寬頻帶響應(yīng)、自適應(yīng)控制能力的主動(dòng)減振方案。

主動(dòng)減振是一種通過控制能量反饋，對(duì)振動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)抵消與精準(zhǔn)抑制的先進(jìn)技術(shù)。其核心原理為：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境與設(shè)備振動(dòng)，由控制器快速運(yùn)算并輸出控制指令，驅(qū)動(dòng)執(zhí)行器施加反向作用力或補(bǔ)償運(yùn)動(dòng)，從而動(dòng)態(tài)平衡振動(dòng)能量、抑制擾動(dòng)傳遞。相較于傳統(tǒng)被動(dòng)隔振技術(shù)，主動(dòng)減振不僅可高效消除低頻振動(dòng)干擾，還能通過實(shí)時(shí)自適應(yīng)調(diào)整控制策略，有效規(guī)避系統(tǒng)共振風(fēng)險(xiǎn)，具備更優(yōu)異的環(huán)境適應(yīng)性與穩(wěn)定性。

基于對(duì)不同應(yīng)用場(chǎng)景振動(dòng)特征與設(shè)備需求的分析，格藍(lán)若精密開發(fā)了7個(gè)系列、60余款主動(dòng)減振產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)，技術(shù)性能達(dá)到同類產(chǎn)品全球先進(jìn)水平。

SFV系列真空型主動(dòng)減振器

SFV系列真空型主動(dòng)減振器垂向以空氣彈簧并聯(lián)磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)作為主支撐，水平方向以負(fù)剛度機(jī)構(gòu)與正剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)，配合垂向和水平向的主動(dòng)振動(dòng)控制及精密定位控制，實(shí)現(xiàn)6自由度高性能主動(dòng)減振和穩(wěn)姿，在先進(jìn)制造領(lǐng)域，可滿足14nm及以上關(guān)鍵工藝制程設(shè)備的減振需求。

PAD一體式平臺(tái)系列

PAD系列主動(dòng)減振為一體式隔振平臺(tái)，結(jié)合系統(tǒng)內(nèi)部被動(dòng)隔振體與配合垂向和水平向的主動(dòng)振動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)6自由度高性能主動(dòng)減振，可選配精密定位控制功能。可以滿足各類電子顯微鏡與精密光學(xué)儀器的高性能減振要求，產(chǎn)品范圍覆蓋桌面級(jí)與大尺寸級(jí)別不同隔振需求。

SMT系列磁浮式主動(dòng)減振器

磁浮式主動(dòng)減振器采用非接觸磁懸浮支撐與實(shí)時(shí)主動(dòng)控制相結(jié)合的高端隔振技術(shù)，以無機(jī)械摩擦、無磨損、無滯后的方式，從源頭抵消低頻與中頻環(huán)境擾動(dòng)。相較于傳統(tǒng)被動(dòng)隔振與機(jī)械接觸式主動(dòng)減振，它擁有更快的響應(yīng)速度，更高的運(yùn)行穩(wěn)定性，同時(shí)具備寬頻控制能力等優(yōu)勢(shì)，可在真空、潔凈、超精密場(chǎng)景下長(zhǎng)期可靠運(yùn)行，全面保障半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、精密光學(xué)系統(tǒng)的核心測(cè)量與運(yùn)動(dòng)精度。

高端制造升級(jí)，

國(guó)產(chǎn)精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)新選擇

02

格藍(lán)若精密運(yùn)動(dòng)控制專注于為高精度、高實(shí)時(shí)性工業(yè)場(chǎng)景提供核心運(yùn)動(dòng)控制解決方案。產(chǎn)品矩陣覆蓋驅(qū)控一體運(yùn)動(dòng)控制器、獨(dú)立式運(yùn)動(dòng)控制器、高性能總線驅(qū)動(dòng)器，配套數(shù)字量/模擬量IO，激光控制接口等模塊全套運(yùn)動(dòng)控制解決方案，可全面適配從通用自動(dòng)化到激光加工、從半導(dǎo)體到精密機(jī)床等超精密領(lǐng)域的需求，助力客戶實(shí)現(xiàn)設(shè)備性能提升、產(chǎn)線升級(jí)與國(guó)產(chǎn)替代。

精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品矩陣

產(chǎn)品核心特點(diǎn)

01

測(cè)量系統(tǒng)切換

適配單軸多測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用，支持多反饋源切換，大幅提升設(shè)備在復(fù)雜工況下的適應(yīng)性與可靠性。

02

多軸協(xié)同控制

實(shí)現(xiàn)多傳感器、多執(zhí)行器、多自由度系統(tǒng)的精準(zhǔn)協(xié)同控制，穩(wěn)定適配ZTT等復(fù)雜多軸應(yīng)用。

03

自適應(yīng)抗干擾

有效抑制外部干擾，確保運(yùn)動(dòng)軌跡與定位精度全程穩(wěn)定，在復(fù)雜工況下仍保持高一致性控制性能。

04

敏捷伺服技術(shù)

強(qiáng)化動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能，大幅提升跟蹤精度與實(shí)時(shí)性，滿足高速高精度運(yùn)動(dòng)控制場(chǎng)景。

05

精密驅(qū)動(dòng)控制

采用高精度脈沖調(diào)制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)電機(jī)電流連續(xù)、平滑輸出，有效抑制機(jī)械振動(dòng)，提升低速運(yùn)行平穩(wěn)性與定位精度，讓設(shè)備運(yùn)行更安靜、更穩(wěn)定。

06

龍門控制

支持雙回路龍門、主從軸跟隨等多輸入多輸出控制方式，提升龍門運(yùn)動(dòng)的同步性、平穩(wěn)性與定位精度。

07

一鍵自動(dòng)調(diào)參

獨(dú)特的一鍵自動(dòng)調(diào)參功能，完成算法升級(jí)與場(chǎng)景擴(kuò)展，適配龍門、多軸耦合、柔性負(fù)載等復(fù)雜場(chǎng)景，實(shí)現(xiàn)更快響應(yīng)、更小穩(wěn)態(tài)誤差與更強(qiáng)抗干擾能力，極大降低調(diào)試難度，大幅提升調(diào)試效率。

驅(qū)控一體運(yùn)動(dòng)控制器

驅(qū)控一體機(jī)系列產(chǎn)品定位于超高精度、模塊化、集成伺服驅(qū)動(dòng)和運(yùn)動(dòng)控制一體化設(shè)備。采用多處理器異構(gòu)架構(gòu)，結(jié)合強(qiáng)大的伺服控制和運(yùn)動(dòng)控制算法，顯著提升運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)性能，適用于半導(dǎo)體、激光加工等高精度、高實(shí)時(shí)性領(lǐng)域。它旨在滿足多軸運(yùn)動(dòng)控制需求高的設(shè)備制造商的需求。同時(shí)，其通用伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)使系統(tǒng)設(shè)計(jì)者能夠控制各類主流電機(jī)或運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

SAC200高性能系列

核心定位：模塊化高性能多軸驅(qū)控一體化設(shè)備，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域、激光加工等超精密應(yīng)用打造。

核心能力：采用EtherCAT通訊協(xié)議，支持最高8個(gè)驅(qū)動(dòng)軸，64個(gè)控制軸多核異構(gòu)搭配自研伺服算法，實(shí)現(xiàn)200kHzPWM開關(guān)頻率、10kHz電流控制帶寬、響應(yīng)性能行業(yè)領(lǐng)先。支持龍門算法、動(dòng)態(tài)誤差補(bǔ)償、環(huán)網(wǎng)冗余等高級(jí)功能，滿足復(fù)雜精密運(yùn)動(dòng)需求。

典型應(yīng)用：半導(dǎo)體設(shè)備、激光精密加工、高精度自動(dòng)化裝配線。

獨(dú)立式運(yùn)動(dòng)控制器

SIC100通用型系列

EtherCAT運(yùn)動(dòng)控制器，其采用多核異構(gòu)緊湊型設(shè)計(jì)，具有強(qiáng)大的參數(shù)整定算法和運(yùn)動(dòng)控制算法來最大限度地提高運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)性能。同時(shí)具備出色的兼容性和拓展性，能使用分布式時(shí)鐘確保所有軸之間的同步精度優(yōu)于0.1微秒，適配半導(dǎo)體領(lǐng)域、激光加工等高精度、高實(shí)時(shí)性領(lǐng)域。

核心定位：高性能EtherCAT主站控制器，專注于多軸同步與復(fù)雜軌跡規(guī)劃。

核心能力：多處理器架構(gòu)，EtherCAT循環(huán)速率高達(dá)10kHz，軸間同步精度優(yōu)于0.1微秒。支持最大64軸，兼容各類EtherCAT伺服驅(qū)動(dòng)器與IO模塊。支持GL+腳本、G代碼混合編程及C#/C++/Python API，開發(fā)靈活高效。

典型應(yīng)用：半導(dǎo)體后道處理、激光加工設(shè)備、多軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)化設(shè)備。

脈寬調(diào)制驅(qū)動(dòng)器

脈寬調(diào)制驅(qū)動(dòng)器是為滿足半導(dǎo)體裝備、精密儀器及高端自動(dòng)化設(shè)備嚴(yán)苛運(yùn)動(dòng)控制要求而設(shè)計(jì)的EtherCAT高性能伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。提供單軸/雙軸/多軸等多形態(tài)模塊，支持寬電壓與寬電流規(guī)格，可靈活匹配不同負(fù)載場(chǎng)景。搭配格藍(lán)若精密多軸運(yùn)動(dòng)控制器，可構(gòu)建高同步、高可靠的全鏈路運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，統(tǒng)一協(xié)調(diào)I/O、測(cè)量、激光等EtherCAT從站功能，滿足高端裝備極致性能需求。

SAD100超高性能系列

核心定位：EtherCAT總線脈寬調(diào)制驅(qū)動(dòng)器，采用精細(xì)PWM技術(shù)，覆蓋多場(chǎng)景應(yīng)用。

核心能力：實(shí)現(xiàn)10kHz電流控制帶寬、200kHz開關(guān)頻率。支持一鍵自調(diào)參，大幅縮短調(diào)試時(shí)間。集成STO安全轉(zhuǎn)矩關(guān)斷功能，硬件級(jí)強(qiáng)制關(guān)斷功率管，保障安全。

典型應(yīng)用：半導(dǎo)體高端設(shè)備、激光加工、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

LAD系列線性驅(qū)動(dòng)器

格藍(lán)若精密LAD系列線性驅(qū)動(dòng)器，是一類高性能AB類線性放大器，專為高精度運(yùn)動(dòng)控制場(chǎng)景設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高精度信號(hào)到線性動(dòng)力的無偏差轉(zhuǎn)換，兼具高精度、低噪聲、強(qiáng)適配、高可靠等核心特性，是高端精密運(yùn)動(dòng)控制場(chǎng)景的核心驅(qū)動(dòng)解決方案。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于超高分辨率位移平臺(tái)、直線電機(jī)平臺(tái)、高慣性失配平臺(tái)，同時(shí)可完美匹配高精度檢測(cè)系統(tǒng)、光學(xué)器件制造、醫(yī)療設(shè)備等對(duì)運(yùn)動(dòng)控制精度、噪聲控制及電磁兼容性要求嚴(yán)苛的應(yīng)用場(chǎng)景。

LAD100系列

核心特點(diǎn)

精準(zhǔn)輸出：連續(xù)電流≥10A、峰值≥25A，電流紋波≤100uA，線性度<1‰。

低噪兼容：無PWM噪聲，滿足CE/CS等EMC標(biāo)準(zhǔn)，適合醫(yī)療、計(jì)量等敏感環(huán)境。

靈活控制：支持單相/兩相電流環(huán)，可控制兩個(gè)音圈電機(jī)，兼容三角形/星形連接。

展會(huì)邀約

03

攜以上重磅產(chǎn)品，格藍(lán)若精密以核心技術(shù)賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新，期待在SEMICON China T4408展位與您相遇，共探高端裝備減振與運(yùn)動(dòng)控制前沿方案，攜手推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈高質(zhì)量發(fā)展！

時(shí)間：2026年3月25-27日

地點(diǎn)：上海新國(guó)際博覽中心

展位：T4館 · T4408

產(chǎn)品咨詢與現(xiàn)場(chǎng)對(duì)接：

鄭經(jīng)理：13554340977

邢經(jīng)理：17638591267（減振）

史經(jīng)理：18271915651（運(yùn)控）