通快亮相上海光博會，無熱損傷的量產利器：紫外飛秒激光解決方案

（中國上海，2025年2月6日）全球領先的機床和激光技術方案提供商德國通快集團（TRUMPF）將在慕尼黑上海光博會（3月18-20日）上展示超快激光技術TruMicro系列及其相關應用領域（展位號：N2 館2406），并分享其在紫外飛秒激光、能量輸出調控與可拓展技術平臺等方面的領先優勢。目前，該系列產品已獲得多家面板與半導體行業頭部廠商的量產應用認可。通快在超短脈沖激光領域的技術實力早已備受肯定——其超短脈沖激光技術曾榮獲“德國未來獎”，其技術實力貫穿從前沿探索到量產應用的全過程。

明星產品：為量產而生的TruMicro 6320紫外飛秒激光器

通快TruMicro 6320專為全天候連續生產打造的紫外飛秒激光器，擁有全球范圍內量產級紫外飛秒激光器中最高的出貨記錄。其穩定的高功率輸出、超短脈寬與領先的紫外倍頻技術，將熱影響降到極低并實現無崩邊加工，特別適用于晶圓表面劃片與先進封裝材料的精密切割，顯著提高產能與良率。

圖一：通快TruMicro 6320紫外飛秒激光器

核心技術：智能能量輸出調控與精準光束整形

通快的核心競爭力之一在于其先進的能量輸出控制策略。在時域控制方面，通快基于先進的激光器設計與控制系統，可實現最優化的能量施布策略。例如，在幾十納秒內快速激發多個脈沖，通過能量疊加效應實現高效加工；同時在空間層面，配合強大的光束整形技術，將激光能量集中并轉化為符合工藝需求的光斑形態。例如，在玻璃芯封裝基板成孔中，TruMicro將高斯光斑整形成細長“針狀”光斑，從而在玻璃表面高效、精確地加工出納米級孔洞，工藝穩定性與重復性出色。

圖二：晶圓切割

強大支撐：可拓展平臺

TruMicro系列涵蓋光纖、碟片與板條放大等多種先進激光技術平臺，具備高度可拓展性，可快速響應市場與客戶不斷發展的應用需求。通快還提供多種波長轉換模塊：倍頻模塊可將紅外飛秒轉換為綠光、紫外乃至深紫外；結合脈寬壓縮與高次諧波（HHG）模塊，更能生成13.5 nm極紫外光，適用于晶圓檢測、光掩模檢測等前沿應用領域。

關于通快

通快是一家高科技公司，為機床和激光技術領域提供制造解決方案。公司通過咨詢、平臺產品和軟件推動制造業的數字化連接，通快是柔性板材加工機床和工業激光器領域的技術和市場的領導者之一。

在2024/25財年，公司員工人數為18303名，銷售額43億歐元。通快集團旗下約90家子公司遍布歐洲各國、北美、南美及亞洲地區，公司在德國、法國、英國、意大利、奧地利、瑞士、波蘭、捷克、美國、墨西哥和中國都設有生產基地。