美國對技術(shù)的錯(cuò)誤認(rèn)知，讓中國企業(yè)囤積了800多臺光刻機(jī)

2023年夏天，荷蘭那邊出了新規(guī)定，說從9月1日起，高端的光刻機(jī)不能賣給中國了，具體指的是ASML的NXT:2000i和更高級的型號都不行，但像1980Di、1970i這樣的中端設(shè)備，還有老款的干式DUV還能繼續(xù)賣，這些機(jī)器雖然做不了5nm芯片，處理45nm以上的制程沒問題，而且中國自己已經(jīng)能造這類光刻機(jī)了，美國其實(shí)也知道，限制這些設(shè)備基本起不了作用。

消息公布后，中國企業(yè)馬上行動(dòng)起來，6月30日政策發(fā)布，9月1日正式實(shí)施，中間只有兩個(gè)月準(zhǔn)備時(shí)間，大家忙著簽合同、催發(fā)貨，后來海關(guān)數(shù)據(jù)顯示，2023年中國大陸進(jìn)口的光刻機(jī)數(shù)量超過2022年全年，ASML對中國的銷售額占比從14%上升到41%，

中國成了它全球最大市場，到了8月底，華為突然推出Mate 60系列，其中搭載的芯片被外界推測是采用7納米工藝制造的，用的不是EUV設(shè)備，而是DUV配合多重曝光技術(shù)，這讓很多人意識到原來用DUV也能實(shí)現(xiàn)這樣的制程水平。

很多人都覺得,沒有EUV機(jī)器就造不出先進(jìn)芯片,美國人也這么想,他們認(rèn)定多重圖案化技術(shù)成本太高良率又差,中國人肯定搞不定,可中國企業(yè)一邊買ASML的DUV光刻機(jī),一邊下單美國應(yīng)用材料的薄膜沉積設(shè)備和泛林公司的刻蝕機(jī),整條生產(chǎn)線都是用美國設(shè)備搭起來的,

有業(yè)內(nèi)人士透露國內(nèi)企業(yè)手里囤積了有800多臺光刻機(jī),其中一半是國產(chǎn)機(jī)或DUV機(jī)型,結(jié)果到2023年底7納米芯片真的做出來了,還裝進(jìn)手機(jī)里上市銷售,技術(shù)封鎖這堵墻就這么被繞過去了。

到了2024年9月6日，荷蘭又出招了，這次更厲害，他們把1980i和1970i也給禁了，而且只針對那些有FinFET生產(chǎn)線的工廠，規(guī)定從發(fā)布當(dāng)天就開始執(zhí)行，沒給一點(diǎn)緩沖時(shí)間，很多訂單直接作廢，已經(jīng)在路上運(yùn)輸?shù)脑O(shè)備被攔下來退了回去，

美國在背后推了一把，想徹底堵死最后一條路，好在中國早有準(zhǔn)備，之前搶購的那些DUV設(shè)備經(jīng)過不斷維護(hù)和改進(jìn)工藝，已經(jīng)可以獨(dú)立支持量產(chǎn)，國家給了補(bǔ)貼，本土團(tuán)隊(duì)也有維修能力，讓這些老設(shè)備一直能正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

有意思的是，美國對技術(shù)的錯(cuò)誤認(rèn)知，美國原本想卡中國的脖子，結(jié)果卻幫中國把設(shè)備都配齊了，應(yīng)用材料和科磊這些公司賺得特別多，訂單一個(gè)接一個(gè)，中國用他們的設(shè)備做出芯片后，又反過來逼他們繼續(xù)供貨，制裁越嚴(yán)格，買賣反而越紅火，

荷蘭夾在中間最難受，政府要聽美國的，企業(yè)又想賺錢，兩邊拉扯不清，ASML的高層私下抱怨過好幾次，現(xiàn)在回頭看，2023年搶下的那些光刻機(jī)，就像一場無聲的預(yù)備戰(zhàn)，沒人喊口號，但每臺機(jī)器都在默默運(yùn)轉(zhuǎn)。

有些設(shè)備看著舊,可只要有人會用、敢改、愿意試,它就能干活,技術(shù)不是單靠買新機(jī)器堆出來的,有時(shí)候是靠一堆還能用的設(shè)備,一點(diǎn)一點(diǎn)磨出來,現(xiàn)在廠子里那些DUV,已經(jīng)跑了三年多,零件換了幾輪,軟件打過補(bǔ)丁,連操作員都養(yǎng)成自己的習(xí)慣動(dòng)作,它們沒名字,不顯眼,但確實(shí)撐起了一個(gè)新階段。

2026年初，行業(yè)里傳出一個(gè)說法，中國晶圓廠的DUV產(chǎn)線平均利用率比某些用EUV的還高，這不是因?yàn)榧夹g(shù)先進(jìn)，而是因?yàn)闆]有退路，必須高效運(yùn)轉(zhuǎn)，只能把現(xiàn)有設(shè)備用到極致，

一臺光刻機(jī)每天運(yùn)行22小時(shí)，工程師們輪流監(jiān)控參數(shù)，連清洗液的配方都調(diào)整了十幾遍，這種土辦法反而練出了扎實(shí)的本事。